Design of sp-bonds in functional BN films by arc discharge with independent parameter control
通过独立参数控制的电弧放电设计功能性 BN 薄膜中的 sp 键
基本信息
- 批准号:20H02481
- 负责人:
- 金额:$ 11.56万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- 财政年份:2020
- 资助国家:日本
- 起止时间:2020-04-01 至 2023-03-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
项目成果
期刊论文数量(13)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
sp結合ナノネットワーク構造変化に起因する窒化ホウ素膜特性遷移の解析
sp键合纳米网络结构变化引起的氮化硼薄膜性能转变分析
- DOI:
- 发表时间:2022
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Takahiro Ihara;Takumi Ojima;Ryuji Oshima;Yutaka Kimura;Atsuhito Sawabe;Hideo Aida;濱野誉,松田崇行,朝本雄也,野間正男,長谷川繁彦,山下満,占部継一郎,江利口浩二
- 通讯作者:濱野誉,松田崇行,朝本雄也,野間正男,長谷川繁彦,山下満,占部継一郎,江利口浩二
Spectroscopic ellipsometry characterization of boron nitride films synthesized by a reactive plasma-assisted coating method
- DOI:10.1063/5.0077147
- 发表时间:2022-01
- 期刊:
- 影响因子:4
- 作者:T. Hamano;T. Matsuda;Y. Asamoto;M. Noma;S. Hasegawa;M. Yamashita;K. Urabe;K. Eriguchi
- 通讯作者:T. Hamano;T. Matsuda;Y. Asamoto;M. Noma;S. Hasegawa;M. Yamashita;K. Urabe;K. Eriguchi
Controlling of nano-network structures in BN films by a reactive plasma assisted-coating technique and the sputtering characteristics against plasma exposure
反应等离子体辅助涂层技术控制 BN 薄膜纳米网络结构及等离子体暴露溅射特性
- DOI:
- 发表时间:2021
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:T. Matsuda;T. Hamano;Y. Asamoto;M. Noma;S. Hasegawa;M. Yamashita K. Urabe;and K. Eriguchi
- 通讯作者:and K. Eriguchi
結合状態を制御した窒化ホウ素膜の高速堆積に向けた窒素ラジカルフラックス最大化に関する研究
氮自由基通量最大化高速沉积受控键态氮化硼薄膜的研究
- DOI:
- 发表时间:2022
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Watanabe Yuto;Matsuno Takashi;Hama Takayuki;Matsuda Tomoko;Okitsu Yoshitaka;Hayashi Seiji;Takada Kenji;Naito Tadashi;朝本雄也,濱野誉,松田崇行,野間正男,長谷川繁彦,山下満,占部継一郎,江利口浩二
- 通讯作者:朝本雄也,濱野誉,松田崇行,野間正男,長谷川繁彦,山下満,占部継一郎,江利口浩二
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- 影响因子:2.9
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金子 俊郎
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- 发表时间:
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- 影响因子:0
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金子 俊郎
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