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Design of sp-bonds in functional BN films by arc discharge with independent parameter control

Design of sp-bonds in functional BN films by arc discharge with independent parameter control
通过独立参数控制的电弧放电设计功能性 BN 薄膜中的 sp 键
批准号：
20H02481
负责人：
Eriguchi Koji
金额：
$11.56万
依托单位：
Kyoto University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2020
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2020-04-01 至 2023-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-20H02481/
关键词：
窒化ホウ素プラズマ結合状態光学特性電気特性高密度プラズマトンネルリーク電流イオンエネルギーフラックスエネルギー誘電率

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sp結合ナノネットワーク構造変化に起因する窒化ホウ素膜特性遷移の解析
sp键合纳米网络结构变化引起的氮化硼薄膜性能转变分析
DOI： --
发表时间： 2022
期刊：
影响因子： --
作者： [Takahiro Ihara, Takumi Ojima, Ryuji Oshima, Yutaka Kimura, Atsuhito Sawabe, Hideo Aida, 濱野誉，松田崇行，朝本雄也，野間正男，長谷川繁彦，山下満，占部継一郎，江利口浩二]
通讯作者： 濱野誉，松田崇行，朝本雄也，野間正男，長谷川繁彦，山下満，占部継一郎，江利口浩二
京都大学　航空宇宙工学専攻　推進工学分野（江利口研）
京都大学航空航天工学科推进工程领域（Eriguchi Lab）
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
Spectroscopic ellipsometry characterization of boron nitride films synthesized by a reactive plasma-assisted coating method
DOI： 10.1063/5.0077147
发表时间： 2022-01
期刊： Applied Physics Letters
影响因子： 4
作者： [T. Hamano;T. Matsuda;Y. Asamoto;M. Noma;S. Hasegawa;M. Yamashita;K. Urabe;K. Eriguchi]
通讯作者： T. Hamano;T. Matsuda;Y. Asamoto;M. Noma;S. Hasegawa;M. Yamashita;K. Urabe;K. Eriguchi
Controlling of nano-network structures in BN films by a reactive plasma assisted-coating technique and the sputtering characteristics against plasma exposure
反应等离子体辅助涂层技术控制 BN 薄膜纳米网络结构及等离子体暴露溅射特性
DOI： --
发表时间： 2021
期刊：
影响因子： --
作者： [T. Matsuda, T. Hamano, Y. Asamoto, M. Noma, S. Hasegawa, M. Yamashita K. Urabe, and K. Eriguchi]
通讯作者： and K. Eriguchi
共 13 条
    Effects of dielectric loss mechanisms at electron trapping sites on damage recovery and reliability improvement in thin films
    • 批准号：
      21K18875
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
    • 资助金额：
      $4.08万
    • 财政年份：
      2021
    • 负责人：
      Eriguchi Koji
    • 依托单位：
      Kyoto University
    Study of defect generation processes in nano-scale devices and the deign methodology based on stochastic theory
    • 批准号：
      16K14405
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.25万
    • 财政年份：
      2016
    • 负责人：
      Eriguchi Koji
    • 依托单位：
      Kyoto University
    Study of structure modification of boron nitride films by plasma exposure - the effect of ion energy distribution function
    • 批准号：
      15H04159
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $10.32万
    • 财政年份：
      2015
    • 负责人：
      Eriguchi Koji
    • 依托单位：
      Kyoto University
    海外基金