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Study of plasma-solid surface interaction control for future organic devices with the optimized dielectric constants

Study of plasma-solid surface interaction control for future organic devices with the optimized dielectric constants
具有优化介电常数的未来有机器件的等离子体-固体表面相互作用控制研究
批准号：
25630293
负责人：
ERIGUCHI Koji
金额：
$2.5万
依托单位：
Kyoto University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
财政年份：
2013
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2013-04-01 至 2016-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-25630293/
关键词：
プラズマ誘電率欠陥有機膜シリコン有機材料電気容量

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会议论文
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发表时间： 2014
期刊：
影响因子： --
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通讯作者： K. Ono
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发表时间： 2014
期刊：
影响因子： --
作者： [T. Ikeda, K. Eriguchi, A. Tanihara, S. Kasai, K. Ono]
通讯作者： K. Ono
共 21 条
    Study of defect-related dielectric function change and the process optimiztion framework for ultimately low power systems
    • 批准号：
      23360321
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $10.82万
    • 财政年份：
      2011
    • 负责人：
      ERIGUCHI Koji
    • 依托单位：
      Kyoto University
    Plasma process design for material surface treatment in the nano-scale regime utilizing dielectric-constant analysis techniques
    • 批准号：
      20360329
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $10.57万
    • 财政年份：
      2008
    • 负责人：
      ERIGUCHI Koji
    • 依托单位：
      Kyoto University
    海外基金