Creation of super hard nanocomposite coatings selfassembled by oxidation

通过氧化自组装制备超硬纳米复合涂层

• 批准号: 25630325
• 负责人: Nose Masateru
• 金额: $ 2.58万
• 依托单位: University of Toyama
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
• 财政年份: 2013
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2013-04-01 至 2016-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-25630325/
• 关键词: 酸化による自己組織化; 硬質薄膜; 酸化物; 窒酸化物; インデンテーション硬さ; CrAlN/BN複合膜; AlN/SiCN複合膜; 部分酸化による自己組織化; AlOxNy; 塑性変形抵抗（HIT/E*); 反応スパッタ法; 自己組織化; 自己硬化; 耐酸化性; ナノ複相構造膜; スパッタ膜

项目成果

AlN/SiCN複合膜の機械的性質と構造に及ぼす熱処理の影響

热处理对AlN/SiCN复合薄膜力学性能和结构的影响

• 发表时间: 2014
• 作者: 長江和樹;松田健二;野瀬正照;長江和樹, 中伏裕太，松田健二，野瀬正照;長江和樹, 中伏裕太，松田健二，野瀬正照
• 通讯作者: 長江和樹, 中伏裕太，松田健二，野瀬正照

Thermal stability of AlN/SiCN composite coatings prepared by r.f.-reactive sputtering

射频反应溅射制备AlN/SiCN复合涂层的热稳定性

• 发表时间: 2015
• 作者: Kazuki Nagae;Kenji Matsuda;Masateru Nose
• 通讯作者: Masateru Nose

異なる基盤温度で作製したAlN/SiCN複合膜の機械的性質に及ぼす熱処理の影響

热处理对不同基底温度制备的AlN/SiCN复合薄膜力学性能的影响

• 发表时间: 2015
• 作者: 長江和樹;松田健二;野瀬正照
• 通讯作者: 野瀬正照

Characterization of Self-Hardening CrAlN/BN Nanocomposite Coatings

自硬化 CrAlN/BN 纳米复合涂层的表征

• 发表时间: 2014
• 作者: Sugita H.;Nose M.;Chiou W. A.;Hanyu H.;Matsuda K.
• 通讯作者: Matsuda K.

AlN/SiCN複合膜の機械的性質に及ぼす 熱処理と基板温度の影響

热处理和基体温度对AlN/SiCN复合薄膜力学性能的影响

• 发表时间: 2015
• 作者: 長江和樹;李昇原;松田健二; 野瀬正照
• 通讯作者: 野瀬正照