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Fabrication of multi-component oxide using supercritical fluid deposition for ferroelectric random access memory

Fabrication of multi-component oxide using supercritical fluid deposition for ferroelectric random access memory
使用超临界流体沉积制造铁电随机存取存储器的多组分氧化物
批准号：
26600040
负责人：
Momose Takeshi
金额：
$2.58万
依托单位：
The University of Tokyo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
财政年份：
2014
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2014-04-01 至 2017-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-26600040/
关键词：
強誘電体薄膜3次元メモリ超臨界流体製膜

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Experimental Approach to Estimate Diffusivity of Metal Organics in Supercritical CO2 at High Temperatures
估算高温超临界二氧化碳中金属有机物扩散率的实验方法
DOI： 10.1016/j.supflu.2016.05.048
发表时间： 2017
期刊： The Journal of Supercritical Fluids
影响因子： --
作者： [チョウ　ユウ, 下山　裕介, 百瀬　健, 霜垣　幸浩]
通讯作者： 霜垣　幸浩
超臨界流体堆積法を用いた強誘電体メモリ用Bi4Ti3O12の均一製膜
超临界流体沉积法均匀成膜铁电存储器Bi4Ti3O12
DOI： --
发表时间： 2015
期刊：
影响因子： --
作者： [北浦 諒一, 高橋 麻里, Priyank Mohan, Derrick Mott, 前之園 信也, チョウ　ユウ，百瀬　健，霜垣　幸浩]
通讯作者： チョウ　ユウ，百瀬　健，霜垣　幸浩
Supercritical Fluid Deposition of Conformal Oxide Films: 3-Dimentionally-Stacked RuO2/TiO2/RuO2 Structures for MIM Capacitors
共形氧化膜的超临界流体沉积：MIM 电容器的三维堆叠 RuO2/TiO2/RuO2 结构
DOI： --
发表时间： 2017
期刊：
影响因子： --
作者： [チョウ　ユウ, 下山　裕介, 百瀬　健, 霜垣　幸浩]
通讯作者： 霜垣　幸浩
コンフォーマルな超臨界流体堆積におけるCO2圧力の影響
CO2 压力对保形超临界流体沉积的影响
DOI： --
发表时间： 2015
期刊：
影响因子： --
作者： [Mari Takahashi, Koichi Higashimine, Priyank Mohan, Derrick Mott, and Shinya Maenosono, チョウ ユウ，百瀬 健，下山 裕介，霜垣 幸浩, 前之園 信也, チョウ ユウ，百瀬 健，下山 裕介，霜垣 幸浩]
通讯作者： チョウ ユウ，百瀬 健，下山 裕介，霜垣 幸浩
共 11 条
    Fabrication of ordered bulk hetero junction photovoltaics using supercritical fluid
    • 批准号：
      16H06127
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
    • 资助金额：
      $15.81万
    • 财政年份：
      2016
    • 负责人：
      Momose Takeshi
    • 依托单位：
      The University of Tokyo
    Single-step fabrication of untra narrow through silicon via for 3-dimensional integration of electronic devices
    • 批准号：
      25709075
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
    • 资助金额：
      $16.22万
    • 财政年份：
      2013
    • 负责人：
      Momose Takeshi
    • 依托单位：
      The University of Tokyo