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3D Microfabrication on silicon by a femtosecond laser via non-linear processes

3D Microfabrication on silicon by a femtosecond laser via non-linear processes
利用飞秒激光通过非线性工艺在硅上进行 3D 微加工
批准号：
26630023
负责人：
ITO YOSHIRO
金额：
$2.5万
依托单位：
Nagaoka University of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
财政年份：
2014
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2014-04-01 至 2016-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-26630023/
关键词：
赤外フェムト秒レーザーシリコン3D 加工非線形吸収湿式エッチングレーザー誘起表面周期構造微細加工裏面加工非線形加工三次元構造マイクロ加工空間光位相変調器

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赤外フェムト秒レーザーによってシリコン基板裏面に形成された周期構造，
使用红外飞秒激光在硅基板的背面形成周期性结构。
DOI： --
发表时间： 2014
期刊：
影响因子： --
作者： [片岡大煕, チア シン イン, 服部智哉, 田辺里枝, 伊藤義郎]
通讯作者： 伊藤義郎
Modification and Machining on Back Surface of a Silicon Substrate by Femtosecond Laser Pulses at 1552 nm
1552 nm 飞秒激光脉冲对硅衬底背面进行改性和加工
DOI： 10.2961/jlmn.2014.02.0004
发表时间： 2014
期刊： JLMN-Journal of Laser Micro/Nano-engineering
影响因子： --
作者： [Yoshiro ITO, Hiroki SAKASHITA, Ryosuke SUZUKI, Mitsuru UEWADA, Khanh Phu LUONG and Rie TANABE]
通讯作者： Khanh Phu LUONG and Rie TANABE
Formation of fine periodic structure on rear-surface of silicon substrate by femtosecond laser at 1552nm
1552nm 飞秒激光在硅衬底背面形成精细周期结构
DOI： --
发表时间： 2015
期刊：
影响因子： --
作者： [Chiah Sin Ying, Kataoka Daiki, Tanabe Rie , Ito Yoshiro]
通讯作者： Ito Yoshiro
Machining oｎ Rear　Surface of a Silicon Substrate by an Infrared Femtosecond Laser via Non-linear Absorption Processes
红外飞秒激光非线性吸收过程对硅基片背面进行加工
DOI： 10.1016/j.procir.2016.02.191
发表时间： 2016
期刊： Procedia CIRP
影响因子： --
作者： [Khanh Phu LUONG, Rie TANABE, Yoshiro ITO]
通讯作者： Yoshiro ITO
共 7 条
    Effects of multiple-pulse iradiation in ultra-fast pulse laser processing studied through a newly developed visualization technique
    • 批准号：
      22360060
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $12.23万
    • 财政年份：
      2010
    • 负责人：
      ITO YOSHIRO
    • 依托单位：
      Nagaoka University of Technology
    海外基金