Innovative performance improvement of electron source by heterojunction
Innovative performance improvement of electron source by heterojunction
批准号:
21K17994
负责人:
郭 磊
金额:
$2.91万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
财政年份:
2021
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2021-04-01 至 2024-03-31
中文摘要
アルカリカソード薄膜によるヘテロ結合を用いて負の電子親和力が得られる新しいNEA-GaAs構造を実現するため、アルカリカソード薄膜の動作真空圧力の制限、時間あるいは電子ビームによる寿命が短いという欠点を克服する必要がある。これらの問題を対処するため、薄膜の分子構造の理解とその劣化メカニズムを解明することが有効だと考えられる。2022年度に薄膜フォトカソードの一種であるCsK2Sbフォトカソードの機能を損なわずに輸送できる真空スーツケース(真空度:<10-7Pa)を用い、あいちシンクロトロン光センター(あいちSR)のビームラインBL7Uへカソードを輸送し、光電子分光を行った。具体的には、名古屋大学の蒸着装置用いてグラフェンとMo半々の基板にCsK2Sbフォトカソードの成膜を行い、それを15km離れているあいちSRに輸送し、BL7UでX線光電子分光法(XPS)により深さ方向の分析を行った。その分析結果をもとに、カソード元素(Sb、K、Cs)の組成比と化学量論を定量的に評価した。グラフェン上のカソードにはCs過剰の表面があることが示したが、Mo基板の場合はそうではないことが分かった。また、グラフェン上のカソードはMo上のと比較してQEが高かったため、Cs過剰な表面が高いQEにつながることを示している。さらに、KとCsがスパッタリングで減少することが分かった。一方、スパッタリング後のグラフェン上のCs-K-Sb構造は、Mo上の構造よりも多くのアルカリ金属を含んでいます。この結果は、グラフェン上に形成されたSb結晶構造が、Mo上の結晶構造よりもアルカリ金属に対して透過性が高い可能性があることを示唆している。これらの結果から、成膜手法の再構成すれば、深さ方向に均一なNEA薄膜を得られることが示唆する。
英文摘要
アルカリカソード薄膜によるヘテロ結合を用いて負の電子親和力が得られる新しいNEA-GaAs構造を実現するため、アルカリカソード薄膜の動作真空圧力の制限、時間あるいは電子ビームによる寿命が短いという欠点を克服する必要がある。これらの問題を対処するため、薄膜の分子構造の理解とその劣化メカニズムを解明することが有効だと考えられる。2022年度に薄膜フォトカソードの一種であるCsK2Sbフォトカソードの機能を損なわずに輸送できる真空スーツケース(真空度:<10-7Pa)を用い、あいちシンクロトロン光センター(あいちSR)のビームラインBL7Uへカソードを輸送し、光電子分光を行った。具体的には、名古屋大学の蒸着装置用いてグラフェンとMo半々の基板にCsK2Sbフォトカソードの成膜を行い、それを15km離れているあいちSRに輸送し、BL7UでX線光電子分光法(XPS)により深さ方向の分析を行った。その分析結果をもとに、カソード元素(Sb、K、Cs)の組成比と化学量論を定量的に評価した。グラフェン上のカソードにはCs過剰の表面があることが示したが、Mo基板の場合はそうではないことが分かった。また、グラフェン上のカソードはMo上のと比較してQEが高かったため、Cs過剰な表面が高いQEにつながることを示している。さらに、KとCsがスパッタリングで減少することが分かった。一方、スパッタリング後のグラフェン上のCs-K-Sb構造は、Mo上の構造よりも多くのアルカリ金属を含んでいます。この結果は、グラフェン上に形成されたSb結晶構造が、Mo上の結晶構造よりもアルカリ金属に対して透過性が高い可能性があることを示唆している。これらの結果から、成膜手法の再構成すれば、深さ方向に均一なNEA薄膜を得られることが示唆する。
期刊论文(3)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
半導体フォトカソード用真空輸送装置の開発
半导体光电阴极真空输送装置的研制
DOI:
--
发表时间:
2021
期刊:
影响因子:
--
作者:
[塩原慧介, 郭磊, 高嶋圭史, 真野篤志]
通讯作者:
真野篤志
半導体フォトカソード分析用真空輸送装置の開発
半导体光电阴极分析用真空输送装置的开发
DOI:
--
发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
--
作者:
[塩原慧介, 郭磊, 仲武昌史, 高倉将一, 真野篤志, 高嶋圭史]
通讯作者:
高嶋圭史
真空輸送装置を用いた半導体フォトカソードの劣化メカニズムの光電子分光分析
利用真空传输装置光电子能谱分析半导体光电阴极的劣化机理
DOI:
--
发表时间:
2023
期刊:
影响因子:
--
作者:
[M. Maeda, T. Tadokoro, Y. Ueno, K. Nishida, Y. Kani, M. Itoh, T. Sasaki, T. Watanabe, H. Kikunaga, S. Kashiwagi, K. Shirasaki, S. Sekimoto, T. Ohtsuki, M. Inagaki, 山田昭子, 塩原慧介]
通讯作者:
塩原慧介
海外基金