低温プラズマ発生装置用10MHz帯スイッチング方式高周波電源の開発

低温等离子体发生器用10MHz频段开关式高频电源的研制

• 批准号: 12750241
• 负责人: 藤田 英明
• 金额: $ 1.6万
• 依托单位: Okayama University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
• 财政年份: 2000
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2000 至 2001
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-12750241/
• 关键词: 高周波電源; 共振形インバータ; MOSFET

研究では,低温プラズマ発生装置用の13.56MHzのスイッチング方式の高周波電源の開発を目的とする。平成12年度は,スイッチングデバイスとして使用するMOSFETを高速に駆動するドライブ回路の開発を行った。本研究では,ドライブ回路の主要部分に表面実装用素子を用い,配線インダクタンスを約6nHまで低減することにより,約10nsの高速なゲート駆動を実現した。しかし,ドライブ回路の損失が大きく安定な駆動特性を得るには至らなかった。平成13年度は,MOSFETのゲート電荷によるドライブ回路の損失を低減するため,並列共振を用いたドライブ回路の開発を行った。並列共振形ドライブ回路では,MOSFETの入力容量と並列に接続したリアクタトルの共振によりゲートの充放電を行う。このため,ゲート電荷はリアクトルを通して放電し,電源に回生される。試作した並列共振形ドライブ回路では,ゲート駆動に伴う損失を8W程度に低減した。次に,開発したドライブ回路を用いてMOSFETを駆動し,一石コンバータ構成の高周波電源の動作特性を確認した。一石コンバータ構成は,リカバリ電流や上下アーム短絡の問題を生じることがなく,ゲート電圧のパルス幅に高精度な調整を必要としないため,高周波動作に適している。実験により,13.56MHzの良好なスイッチングを確認した。さらに,誘導プラズマ発生装置の負荷として用いられる直列共振回路を接続し,13.56MHzにおいて出力160W,変換効率80%の高周波動作を実現した。

In the study, the cryogenic equipment is operated on the high-cycle power source by using the method of 13.56MHz heating and cooling, the purpose of which is to turn on the high cycle power source. In the year 12 of Pingcheng, you will be able to use the high-speed train of the MOSFET train to open the train line. In this study, the main part of the circuit is to use the element on the surface, and the distribution system is used. The 6nH is very low-speed, and the high-speed circuit is about 10ns. Because of the loss of the operating system, the stability of the operating system has been improved to the minimum. In the year 13 of Pingcheng, MOSFET was responsible for the loss of low temperature in the power cycle circuit, and listed the resonant circuit to be operated in the same time. The resonant circuit circuit is listed in parallel, and the input force capacity in MOSFET is also listed in this paper. The power supply is recycled, and the power supply is recycled. The circuit circuit of the resonant circuit is also listed, and the loss of 8W is very low. For the second time, you can use the MOSFET operation to confirm the operating characteristics of the high-frequency power source. Once a stone is broken, it is necessary to cause short-term transmission problems in the upper and lower parts of the electric current, to improve the amplitude of the radio waves, to adjust the amplitude of the radio waves with high precision, and to do the high-frequency action. Thank you. 13.56MHz is fine. Please confirm that. The equipment should be connected with the in-line resonance loop of the 13.56MHz device. The output of the device is 160W, and the frequency is 80%. The high-cycle operation is effective.