课题基金 / 基金详情

ナノ粒子溶液輸送法による3次元エピタキシー技術の開発

ナノ粒子溶液輸送法による3次元エピタキシー技術の開発
利用纳米粒子溶液传输法开发3D外延技术
批准号：
18651057
负责人：
田中 秀和
金额：
$2.24万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Exploratory Research
财政年份：
2006
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2006 至 2007
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-18651057/
关键词：
機能性酸化物酸化物ナノドットアレイ酸化物ナノワイヤナノインプリント法Moリフトオフレーザアブレーション法酸化物直接AFMナノリソグラフィー法Moナノマスク酸化物AFMリソグラフィー法MoMgOナノマスク酸化物ナノインプリント加工法遷移金属酸化物薄膜ナノ構造アレイ

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三次元ナノ構造形成の基板としてこれまでに、サブ50nm級の微細加工を実現する酸化物AFMナノリソグラフィーを開発してきたが、大面積に一括してナノ構造を形成するために、酸化物ナノインプリント法リソグラフィー法の開発を行った。ナノインプリント法はSiなど半導体微細加工において、超高分解能、大量・大面積、低コスト一括ナノ構造生産の期待が寄せられている方法である。金属酸化物薄膜に対してはMoをリフトオフ用のナノマスクとして用いるインプリントリソグラフィー法(Moナノマスクリフトオフーインプリント法)を開発した。例として高温強磁性酸化物(Fe,Mn)_3O_4薄膜形成に対し以下のようなプロセスを行った。Al_2O_3(0001)単結晶基板(2cm×2cm)上に塗布したPMMA膜に石英モールドによりドットパターンを形成後、この上にスパッタリング法によりMo薄膜を積層した。続いてアセトン中超音波洗浄により、PMMA層を除去しMoドットナノマスクを形成する。その後、レーザアブレーション法により、基板温度360℃、酸素ガス圧10^<-4>Paにおいて金属酸化物薄膜((Fe,Mn)_3O_4)を積層し、その後H_2O_2によって、Mo層からのリフトオフにより、酸化物ナノドットを形成するものである。100nm径程度のエピタキシャル成長した(Fe,Mn)_3O_4ナノドットアレイを得ることに成功した。このように大面積に一括してナノ構造を形成することにより、大量の良く規定された3次元ナノ構造を得ることが可能となる。また基板上に金ナノパターンを形成後、レーザアブレーション法により酸化物(MgO)を蒸着するすることにより、金中への酸化物の輸送・過飽和・溶出を利用した自己組織化酸化物ナノワイヤ成長を行った。
期刊论文(21)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
Fabrication of (Fe, Mn)_3O_4 nanostructure using Mo nanomask AFM lithography
使用 Mo 纳米掩模 AFM 光刻法制备 (Fe, Mn)_3O_4 纳米结构
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [K. goto, H. Tanaka, T. Kawai]
通讯作者： T. Kawai
J. Vac. Soc. Jpn.,
J.瓦克。
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [鈴木 直毅, 田中 秀和, 柳澤 吉彦, 山中 理, Luca Pellegrino, 李 奉局, 李 恵りょん, 川合 知二]
通讯作者： 川合 知二
Fabrication of Fe_<3-x>Mn_xO_4 nanostructure using Mo nanomask AFM lithography
使用 Mo 纳米掩模 AFM 光刻技术制备 Fe_<3-x>Mn_xO_4 纳米结构
DOI： --
发表时间： 2008
期刊：
影响因子： --
作者： [K. goto, H. Tanaka, T. Kawai]
通讯作者： T. Kawai
モリブデン・リフトオフ法による酸化物エピタキシャル膜の大面積ナノパターニング(II)
钼剥离法氧化物外延薄膜大面积纳米图形化（二）
DOI： --
发表时间： 2007
期刊：
影响因子： --
作者： [鈴木 直毅, 田中 秀和, 山中 理, 川合 知二]
通讯作者： 川合 知二
共 21 条
    原始惑星系円盤と系外惑星の統計をつなげる惑星種族合成理論の構築
    • 批准号：
      23K22549
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $3.58万
    • 财政年份：
      2024
    • 负责人：
      田中 秀和
    • 依托单位：
      Tohoku University
    遷移金属酸化物薄膜による水素イオン誘起量子物性開拓と化学デバイス応用
    • 批准号：
      23K26738
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $7.57万
    • 财政年份：
      2024
    • 负责人：
      田中 秀和
    • 依托单位：
      Osaka University
    遷移金属酸化物薄膜による水素イオン誘起量子物性開拓と化学デバイス応用
    • 批准号：
      23H02045
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $12.06万
    • 财政年份：
      2023
    • 负责人：
      田中 秀和
    • 依托单位：
      Osaka University
    Labeling as viewed from two types of light verbs
    • 批准号：
      23K00481
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.25万
    • 财政年份：
      2023
    • 负责人：
      田中 秀和
    • 依托单位：
      Okayama University