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DNA固定分析チップ用ナノパルスプラズマCVD法の開発

DNA固定分析芯片纳脉冲等离子体CVD法的开发

基本信息

批准号：
18656212
负责人：
大竹尚登
金额：
$ 2.24万
依托单位：
Nagoya University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Exploratory Research
财政年份：
2006
资助国家：
日本
起止时间：
2006 至 2007
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-18656212/
关键词：
プラズマ加工薄膜 DLC DNA 分析チップダイヤモンド状炭素膜

项目摘要

本研究は,ナノパルスプラズマを利用した大気圧下でのDLC膜の合成法を開発して、高効率・高性能なDNA固定分析チップを作製することを目的とするものである。まず高分解能発光分光分析システムを構築し,時間分解能1ns程度のフォトダイオードユニットを用いてプラズマの発光分光分析を行い,存在する化学種はH,CH,C2が中心であること及びその発光寿命は700nsのパルス幅のナノパルスを印加後20us程度であることを明らかにした.また発光強度はナノパルスの場合にマイクロパルスと比較して10倍程度大きく,原料ガスの解離の進んでいることが示唆される.さらに,基板のスキャンを導入することにより長さ20mm程度の基板上にDLCを大気圧下で合成することの出来ることを示した.また,オージェ電子分光分析の結果,DLCにはNやOといった不純物の巻き込みもなくまた電極材料(Fe等)も含まれていないことがわかった.以上の結果から,大気圧下でナノパルスプラズマCVD法により走査しながらDLC膜を合成する技術を確立することができた.さらに,この表面にDNA(HPLCアミノ化Fluorescein)を固定し,蛍光顕微鏡による観察を行った.その結果,大気圧で合成したDLCにおいても従来の低圧下で合成したDLCと同密度のDNAを固定できることがわかった(現在のところ蛍光画像の目視観察による).このことから,本研究によりナノパルスプラズマを用いることにより,DNA固定用のDLCコーティングを大気圧下で行う技術を確立できたと結論される.

In this study, the synthetic method of DLC film under high pressure was developed using the method of using the ナノパルスプラズマを, High-efficiency and high-performance DNA fixation analysis is produced and produced by the purpose of DNA fixation. This is a high-resolution spectroscopic analysis system with a time resolution of about 1 ns.イオードユニットを Use いてプラズマの発 spectroscopic analysis を行い, there is するchemical species はH ,CH,C2 center light life and light life of 700ns light widthパルスをInca after 20us degree であることを明らかにした.また発light intensityはナノパThe ルスのoccasion にマイクロパルスと is about 10 times larger than the してきく, and the raw material ガスのdissociation is advancedんでいることがshows instructing される.さらに, the base plate is introduced することにより长さThe DLC on a 20mm level substrate can be synthesized under high pressure and displayed on the substrate. .また,オージェelectron spectroscopic analysis results,DLCにはNやOといったimpuritiesの巻き込The above results are based on the electrode material (Fe, etc.)から, でナノパルスプラズマCVD method により walkthrough しながらDLC film をcombination under large pressure Cheng's technology has been established, and it has established its DNA (HPLC technology).ノ化Fluorescein)をfixedし,荍光鍕microscopeによる観看を行った.その knot As a result, the high-pressure synthetic DLC is the same density as the low-pressure synthetic DLC.のDNAをfixedできることがわかった(now のところ蛍光imageのVisual observationによる).このことから,This research was conducted using the いることにより,DN A fixed DLC technology has been established under high pressure and the conclusion has been established.