Control Performance of Micro Optical Servo System Using Optical Actuator

使用光学执行器的微型光学伺服系统的控制性能

• 批准号: 04452156
• 负责人: FUKADA Toshio
• 金额: $ 3.71万
• 依托单位: Nagoya University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
• 财政年份: 1992
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1992 至 1993
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-04452156/
• 关键词: Optical Actuator; PLZT; Bimorph; Optical Servo System; Control; Hysteresis; Ultraviolet Ray Irradiation; Optical Piezo-electric Element; 光サーボ; 非接解エネルギー供給; モデル化; 応答特性; 特性実験

With an optical actuator, which is driven by the U.V.beam irradiation, energy/information transmission system is proposed. The control method of the optical actuator is studied. The composite of the PLZT material is examined by changing La, P_bZ_rO_3, P_bT_iO_3 ratio. The characteristics of the actuator is examined. The bimorph type PLZT is made and the characteristics is examined. Response time is improved and the displacement is increased. Based on the bimorph type actuator, the optical servo system is developed and the control performance is improved. WPM type U.V.beam irradiation mechanism is employed, and the U.V.beam is irradiated from both sides of the PLZT.The hysteresis is improved by differentiating the U.V.beam irradiators.

提出了一种基于紫外光驱动的光致动器的能量/信息传输系统。研究了光致动器的控制方法。通过改变La、P_bZrO_3、P_bTiO_3的配比，考察了PLZT材料的复合性能。的致动器的特性进行了检查。制作了PLZT型双压电晶片，并对其特性进行了测试。响应时间得到改善，位移增加。基于双压电晶片驱动器，研制了光学伺服系统，提高了控制性能。采用WPM型紫外线照射机构，紫外线从PLZT的两侧照射，通过区分紫外线照射源来改善滞后现象。

项目成果

S.Hattori, T.Fukada, S.Nagamori: "A Study on Optical Piezo-electric Actuator (Response Experiments by U.V.Beam and Photo Response Model)" Journal of Robotics and Mechatronics. Vol.4, No.4. 321-329 (1992)

S.Hattori、T.Fukada、S.Nagamori：“光学压电致动器的研究（紫外光束和光响应模型的响应实验）”机器人与机电一体化杂志。

S.Hattori, T.Fukada, T.Maruhashi, S.Nagamori: "Responce Model and Optical Servo System of Optical Micro Gripper" Journal of Mechanical Engineering (C). Vol.59. 2177-2184 (1993)

S.Hattori、T.Fukada、T.Maruhashi、S.Nagamori：“光学微夹具的响应模型和光学伺服系统”机械工程学报（C）。

Shinobu Hattori: "A study on Optical Piezo-electric Actuator(Response Experiments by U.V.Beam and Photo Response Model)" Journal of Robotics and Mechatronics. Vol.4 No.4. 321-329 (1992)

Shinobu Hattori：“光学压电致动器的研究（紫外光束和光响应模型的响应实验）”机器人与机电一体化杂志。

服部 忍、福田 敏男 他: "光マイクログリッパの構造と動作特性" 日本機械学会論文集C編. 59-559. (1993)

Shinobu Hattori、Toshio Fukuda 等人：“光学微夹具的结构和操作特性”，日本机械工程师学会会议录，C 版（1993 年）。

福田 敏男 他: "バイモルフ型光圧電素子を用いた光サーボシステム" 第10回日本ロボット学会学術講演会予稿集. 1237-1238 (1992)

Toshio Fukuda 等：“使用双压电晶片型光电元件的光学伺服系统”日本机器人学会第 10 届学术会议论文集 1237-1238（1992 年）。