课题基金 / 基金详情

シランプラズマ中Si微粒子の凝集過程に関する研究

シランプラズマ中Si微粒子の凝集過程に関する研究
硅烷等离子体中Si细颗粒的聚集过程研究
批准号：
06230212
负责人：
渡辺 征夫
金额：
$1.54万
依托单位：
Kyushu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1994
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1994 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-06230212/
关键词：
微粒子凝集帯電凝集シランプラズマプラズマCVD法変調高周波放電法レーザ偏光散乱法走査型電子顕微鏡

项目摘要

项目成果

渡辺 征夫的其他基金

相似基金

相关文献

中文摘要
翻译
点击翻译按钮获取中文摘要
英文摘要
本研究の目的は,シランプラズマを用いてSi微粒子を作製する際に生じる凝集過程を明らかにすることである.このために変調高周波放電法を用いてサイズを制御してSi微粒子を作製し,微粒子の成長過程を,レーザ散乱法(LLS),走査型電子顕微鏡(SEM)などを用いて調べた.その結果,微粒子は核発生,急速成長,成長飽和期の3つの過程を経て成長すること,放電周波数が6.5MHzの場合には,急速成長期以降には,2種類のサイズグループの微粒子が同時に存在していること,急速成長は微粒子の凝集反応によって生じていることが明らかになった.この急速成長期における凝集速度は通常の熱運動による凝集では説明できない程速く,帯電凝集が起こっていることが示唆された.一方、放電周波数28MHzでは、1つのサイズグループの微粒子のみが存在し、放電初期の微粒子密度は10^<11>cm^<-3>以上と極めて高いこと、高密度にもかかわらずその後の凝集速度は遅いことが分った。
期刊论文(11)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
福澤 剛: "Novel in site method to detect subnanometer-sized partiaulates in plasmas and Its application to particles in helium diluted silane RF Plasma" Appl.Phys.lett,. 64. 3098-3100 (1994)
Tsuyoshi Fukuzawa：“检测等离子体中亚纳米尺寸颗粒的新颖方法及其在氦稀释硅烷 RF 等离子体中颗粒的应用”Appl.Phys.lett，64. 3098-3100 (1994)
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
渡辺 征夫: "Experimental investigation of particulate formation in He-SiH_4 modulated RF Discharges" Plasma Sources Sci.Technol.3. 286-290 (1994)
Yukio Watanabe：“He-SiH_4 调制射频放电中颗粒形成的实验研究”Plasma Sources Sci.Technol.3 (1994)。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
渡辺 征夫: "Effects of particles on He-SiH_4 modulatea RF Discharges" Plasma Sources Sci.Technol.3. 355-359 (1994)
Yukio Watanabe：“粒子对 He-SiH_4 调制射频放电的影响”Plasma Sources Sci.Technol.3 (1994)。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
白谷 正治: "Study on Growth Processes of parliculatesin Helium-Diluted Silane RF Plasmas using scanning electron microscopy" Appl.Phys.Lett.65. 1900-1902 (1994)
Masaharu Shiratani：“使用扫描电子显微镜研究氦稀释硅烷射频等离子体中的颗粒生长过程”Appl.Phys.Lett.65 1900-1902 (1994)。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
共 8 条
    微重力反応性プラズマ中の微粒子成長
    • 批准号：
      15654082
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.3万
    • 财政年份：
      2003
    • 负责人：
      渡辺 征夫
    • 依托单位：
      Kyushu University
    シリコン系超分子の作製と構造抑制に関する研究
    • 批准号：
      09875021
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Exploratory Research
    • 资助金额：
      $1.22万
    • 财政年份：
      1997
    • 负责人：
      渡辺 征夫
    • 依托单位：
      Kyushu University
    シランプラズマ中Si微粒子の凝集過程に関する研究
    • 批准号：
      07219212
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
    • 资助金额：
      $1.41万
    • 财政年份：
      1995
    • 负责人：
      渡辺 征夫
    • 依托单位：
      Kyushu University
    高周波電圧矩形波変調法によるシランプラズマの反応制御
    • 批准号：
      02214221
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
    • 资助金额：
      $2.69万
    • 财政年份：
      1990
    • 负责人：
      渡辺 征夫
    • 依托单位：
      Kyushu University
    国内基金
    海外基金
    分子凝集物调控“病毒巢”形成的分子机制研究
    • 批准号：
      JCZRFGS202600009
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2026
    • 负责人：
    • 依托单位：
      湖北大学
    米格列醇通过特异性抑制乳糖酶调控半乳糖凝集素3表达降低2型糖尿病患者心房颤动发病率及负荷的机制及疗效研究
    • 批准号：
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2025
    • 负责人：
      戎嘉诚
    • 依托单位：
    RicinB类凝集素EhRBL1介导虾肝肠胞虫侵染和增殖的分子机制
    • 批准号：
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2025
    • 负责人：
      范晓东
    • 依托单位：
      重庆师范大学
    中性粒细胞半乳糖凝集素 3在心肌缺血早期炎症损伤中的作用及干预研究
    • 批准号：
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2025
    • 负责人：
    • 依托单位：
      南京医科大学