シランプラズマ中Si微粒子の凝集過程に関する研究

硅烷等离子体中Si细颗粒的聚集过程研究

• 批准号: 06230212
• 负责人: 渡辺 征夫
• 金额: $ 1.54万
• 依托单位: Kyushu University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 1994
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1994 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-06230212/
• 关键词: 微粒子; 凝集; 帯電凝集; シランプラズマ; プラズマCVD法; 変調高周波放電法; レーザ偏光散乱法; 走査型電子顕微鏡

本研究の目的は,シランプラズマを用いてSi微粒子を作製する際に生じる凝集過程を明らかにすることである.このために変調高周波放電法を用いてサイズを制御してSi微粒子を作製し,微粒子の成長過程を,レーザ散乱法(LLS),走査型電子顕微鏡(SEM)などを用いて調べた.その結果,微粒子は核発生,急速成長,成長飽和期の3つの過程を経て成長すること,放電周波数が6.5MHzの場合には,急速成長期以降には,2種類のサイズグループの微粒子が同時に存在していること,急速成長は微粒子の凝集反応によって生じていることが明らかになった.この急速成長期における凝集速度は通常の熱運動による凝集では説明できない程速く,帯電凝集が起こっていることが示唆された.一方、放電周波数28MHzでは、1つのサイズグループの微粒子のみが存在し、放電初期の微粒子密度は10^<11>cm^<-3>以上と極めて高いこと、高密度にもかかわらずその後の凝集速度は遅いことが分った。

The purpose of this study is to investigate the application of Si particles in the process of agglutination. The high cycle discharge method is used to control the formation of Si particles, the growth process of the particles, the dispersion method (LLS), and the mobile electron micrometer (SEM) are used. The results show that the nuclei of particles grow rapidly, grow rapidly, grow into long-term and phase 3-phase long-term growth cycles, release the cycle number of 6.5MHz cycles, rapidly grow into long-term cycles in order to reduce the number of particles, and the rapid growth of particles exists at the same time, and rapid growth of fine particles agglutination and agglutination of fast-growing particles. The rapid development of a long-term agglutination speed system usually shows that the agglutination speed is very fast, and the agglutination speed is very high. On the one hand, the wavenumber of 28MHz, the number of waves, the number of particles, the density of particles, the number of waves, the number of particles, the density of

项目成果

福澤 剛: "Novel in site method to detect subnanometer-sized partiaulates in plasmas and Its application to particles in helium diluted silane RF Plasma" Appl.Phys.lett,. 64. 3098-3100 (1994)

Tsuyoshi Fukuzawa：“检测等离子体中亚纳米尺寸颗粒的新颖方法及其在氦稀释硅烷 RF 等离子体中颗粒的应用”Appl.Phys.lett，64. 3098-3100 (1994)

渡辺 征夫: "Experimental investigation of particulate formation in He-SiH_4 modulated RF Discharges" Plasma Sources Sci.Technol.3. 286-290 (1994)

Yukio Watanabe：“He-SiH_4 调制射频放电中颗粒形成的实验研究”Plasma Sources Sci.Technol.3 (1994)。

渡辺 征夫: "Effects of particles on He-SiH_4 modulatea RF Discharges" Plasma Sources Sci.Technol.3. 355-359 (1994)

Yukio Watanabe：“粒子对 He-SiH_4 调制射频放电的影响”Plasma Sources Sci.Technol.3 (1994)。

白谷 正治: "Study on Growth Processes of parliculatesin Helium-Diluted Silane RF Plasmas using scanning electron microscopy" Appl.Phys.Lett.65. 1900-1902 (1994)

Masaharu Shiratani：“使用扫描电子显微镜研究氦稀释硅烷射频等离子体中的颗粒生长过程”Appl.Phys.Lett.65 1900-1902 (1994)。

福澤 剛: "Study on Growth processes of subnarometer particles in Early Phase of Silane RF Discharges" Jpn.J.Appl.Phys.33. 4212-4215 (1994)

Tsuyoshi Fukuzawa：“硅烷射频放电早期亚纳米粒子生长过程的研究”Jpn.J.Appl.Phys.33 4212-4215 (1994)。