超音波励振磁性振子を利用したナノ領域評価のための局所渦電流場形成技術の開発

超声激励磁摆纳米域评价局部涡流场形成技术的开发

• 批准号: 15656026
• 负责人: 坂 真澄
• 金额: $ 2.11万
• 依托单位: Tohoku University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Exploratory Research
• 财政年份: 2003
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2003 至 2004
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-15656026/
• 关键词: ナノ計測; 磁性体振動子; 導電性材料; 圧電高分子薄膜; 超音波振動; 渦電流; 導電率; 透磁率

本研究は磁性振子と対象を近接させた系において、振子を高速振動させた際に局所的な渦電流場が形成され、振子と対象の相互位置関係によって渦電流場の分布が変化する現象に着目し、ナノ磁性振子と圧電素子の組合せで超音波励振磁性振子を開発し、これにより制御可能な局所渦電流場を形成して、ナノ領域における電磁気特性評価を実現する学術的基盤を構築することを目的とする。最終年度は以下のような研究実績を得た。1.局所渦電流場可変技術の検討磁性振子をシリコンウエハ上に配置し、これを超音波周波数帯域で振動させた場合の振動(振幅、および位相)スペクトルを収録し、得られた振動スペクトルより局所渦電流場の形成について検討した。さらに磁性振子を種々の揺動角で配置して励振した場合の振動スペクトルとシリコンウエハ表面上に形成される局所渦電流場の分布に関して検討した。2.シリコンウエハ導電率計測とナノ細線電流の検知可変的局所渦電流場形成技術の有用性をシリコンウエハ検査により検証した。はじめにシリコンウエハ上に磁性振子を種々の揺動角で配置して、振子の揺動角と振動スペクトルとの関係を収録した場合に、理論モデルよりシリコンウエハの導電率が測定可能かを検討した。さらにシリコンウエハ上に幅500nmのアルミニウム細線を作製し、本手法により、この細線を流れる微小な直流電流を検知可能か検討した。ここでは、細線を流れる直流電流が静磁場を形成するため、振子には非磁性、導電性のものを用いた。導電性振子が磁場中で超音波振動する場合は振子に局所的な渦電流場が形成される。これにより、細線の通電、非通電時の磁場の有無に起因した振動(振幅、および位相)スペクトルを振子と細線の非接触下で得ることに成功した。

In this study, the magnetic oscillator is close to the magnetic oscillator, the high-speed vibration of the oscillator is used to form the flow field, the position of the oscillator is close to each other, the distribution of the flow field is different from each other, the magnetic oscillator is close to the eye, the magnetic oscillator is connected with the magnetic oscillator, and the magnetic oscillator is excited by ultrasound. It is necessary to control the formation of the flow field that may be used by the bureau, and to improve the characteristics of the magnetic field in the field. The following is the most annual study of the year. 1. The local flow field can be operated by the magnetic oscillator, the magnetic oscillator, the equipment, the ultrasonic cycle, the frequency domain, the amplitude, the phase, the amplitude, the phase, the frequency, the amplitude, the phase, the amplitude and the phase. All kinds of magnetic oscillators are equipped with the excitation device and the vibration device. The surface of the magnetic oscillator is formed on the surface of the machine, which is distributed by the station. two。 The local power flow field that is known to be available is used to form a technical usefulness. please do not pay attention to the technical usefulness. In order to improve the performance of the magnetic oscillator, the vibration angle of the magnetic oscillator is configured, and the vibration angle of the magnetic oscillator is used to determine the electrical efficiency of the magnetic oscillator. Please make sure that the 500nm cable is used as a signal, this method is used, and the micro-DC current is known to be sensitive. The magnetostatic field of DC current and magnetostatic field is used to form a magnet, the oscillator is non-magnetic, and the electrical current is used. The ultrasonic vibration in the magnetic field of the electric oscillator combines with the current field of the oscillator to form a trap. The magnetic field has the cause of vibration (amplitude, phase). Under the condition of non-contact, the vibration of the oscillator is successful.

项目成果

Dry-Coupling Ultrasonic Transmission : Layer Selection for High-Resolution Industrial Inspections

干耦合超声波传输：高分辨率工业检测的层选择

• 发表时间: 2004
• 期刊: Proceedings of the 12th International Conference on Experimental Mechanics (CD-ROM)
• 作者: H.Tohmyoh;(M.Saka;K.Takeuchi;T.Miyata)
• 通讯作者: T.Miyata)

Hironori Tohmyoh, Masumi Saka, Tsuyoshi Akaogi: "High-Resolution Acoustic Imaging of IC Packaging Defects under Dry-Contact Conditions"Proceedings of the 2004 ASME International Mechanical Engineering Congress. (発表予定). (2004)

Hironori Tohmyoh、Masumi Saka、Tsuyoshi Akaogi：“干接触条件下 IC 封装缺陷的高分辨率声学成像”2004 年 ASME 国际机械工程大会论文集（即将发表）。

Acoustic Microscopy for Micro Electrical Interconnections

用于微电气互连的声学显微镜

• 发表时间: 2005
• 期刊: Proc. 2005 ASME/Pacific Rim Technical Conference and Exhibition on Integration and Packaging of MEMS, HEMS, and Electronic Systems (CD-ROM) IPACK2005-73061
• 作者: K. Sasagawa (S. Uno;N. Yamaji and M. Saka);M. Hasegawa (K. Sasagawa and M. Saka);H. Tohmyoh (T. Akaogi and M. Saka)
• 通讯作者: H. Tohmyoh (T. Akaogi and M. Saka)

高分子膜を介した半導体デバイス内部の超音波可視化

通过聚合物膜实现半导体器件内部的超声波可视化

• 发表时间: 2004
• 期刊: (社)日本機械学会M&M2004材料力学カンファレンス講演論文集 04-6
• 作者: 燈明 泰成;(坂 真澄)
• 通讯作者: (坂 真澄)