Development of Totally ultra-clean laboratory system of uni-sized material research modules

单一尺寸材料研究模块的全超洁净实验室系统的开发

• 批准号: 18205021
• 负责人: KOINUMA Hideomi
• 金额: $ 32.61万
• 依托单位: The University of Tokyo
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
• 财政年份: 2006
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2006 至 2008
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-18205021/
• 关键词: 電子・電気材料; MBE、エピタキシャル; ナノ材料; 超薄膜; 表面・界面物性

物理的・化学的に超クリーンな環境で、合成から構造解析・物性評価に至るプロセスを一貫して進行させる高速かつ省エネルギーな革新的ものづくり研究開発システムの構築を目指し、超小型パルスレーザ薄膜堆積ユニットと、複数のモジュールを接続するフレキシブル試料搬送ユニット(中央制御機構)を開発した。超小型KrF レーザや板バネを用いた新搬送機構の採用によりスペースを従来システムの1/4以下にし、かつ自由度の高い薄膜・評価システムの構築を実現した。

Physical, chemical, environmental, synthesis, structural analysis, physical property evaluation, consistent development, high-speed, economical, innovative, research, development, construction, ultra-small, thin film deposition, multi-dimensional, sample transfer, development (central control mechanism) The new transfer mechanism for ultra-small KrF plate production is adopted, and the structure of the new transfer mechanism is realized with less than 1/4 of the transfer system and high degree of freedom.

项目成果

Magnetic domain structure of a technically patterned ferromagnetic La_<0.6>Sr_<0.4>MnO_3 thin film

技术图案化铁磁La_<0.6>Sr_<0.4>MnO_3薄膜的磁畴结构

• 发表时间: 2007
• 期刊: Appl. Phys. Lett. 91
• 作者: M. Kubota;T. Taniuchi;R. Yasuhara;H. Kumigashira;M. Oshima;K. Ono;H. Okazaki;T. Wakita;T. Yokoya;H. Akinaga;M. Lippmaa;M. Kawasaki;H. Koinuma
• 通讯作者: H. Koinuma

Epitaxial growth and surface metallic nature of LaNIO3 thin films

• DOI: 10.1063/1.2955534
• 发表时间: 2008-07
• 期刊: Applied Physics Letters
• 影响因子: 4
• 作者: K. Tsubouchi;I. Ohkubo;H. Kumigashira;Y. Matsumoto;T. Ohnishi;M. Lippmaa;H. Koinuma;M. Oshima

Temperature-dependence of the electronic structure of La1-xSrxMnO3 thin films studied by in situ photoemission spectroscopy

原位光电子能谱研究 La1-xSrxMnO3 薄膜电子结构的温度依赖性

• 发表时间: 2007
• 期刊: J. Elec. Spect. Rel. Phenom 156-158
• 作者: K. Horiba;A. Chikamatsu;H. Kumigashira;M. Oshima;A. Fujimori;M. Lippmaa;M. Kawasaki;H. Koinuma
• 通讯作者: H. Koinuma

Oxide materials research for global environment and energy with a focus on CO2 fixation into polymers

• DOI: 10.1016/j.reactfunctpolym.2007.08.010
• 发表时间: 2007-11-01
• 期刊: REACTIVE & FUNCTIONAL POLYMERS
• 影响因子: 5.1
• 作者: Koinuma, Hideomi

Transport and magnetic properties of Pr1-xCaxMnO3 epitaxial films grown on LaAlO3 substrates

LaAlO3 衬底上生长的 Pr1-xCaxMnO3 外延薄膜的传输和磁性能

• 发表时间: 2007
• 期刊: J. Mag. Mag. Mat 310
• 作者: A. Maniwa;K. Okano;I. Ohkubo;H. Kumigashira;M. Oshima;M. Lippmaa ;M. Kawasaki;H. Koinuma
• 通讯作者: H. Koinuma