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Development of Totally ultra-clean laboratory system of uni-sized material research modules

Development of Totally ultra-clean laboratory system of uni-sized material research modules
单一尺寸材料研究模块的全超洁净实验室系统的开发
批准号：
18205021
负责人：
KOINUMA Hideomi
金额：
$32.61万
依托单位：
The University of Tokyo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
财政年份：
2006
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2006 至 2008
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-18205021/
关键词：
電子・電気材料MBE、エピタキシャルナノ材料超薄膜表面・界面物性

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项目成果

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英文摘要
物理的・化学的に超クリーンな環境で、合成から構造解析・物性評価に至るプロセスを一貫して進行させる高速かつ省エネルギーな革新的ものづくり研究開発システムの構築を目指し、超小型パルスレーザ薄膜堆積ユニットと、複数のモジュールを接続するフレキシブル試料搬送ユニット(中央制御機構)を開発した。超小型KrF レーザや板バネを用いた新搬送機構の採用によりスペースを従来システムの1/4以下にし、かつ自由度の高い薄膜・評価システムの構築を実現した。
期刊论文(74)
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科研奖励(0)
会议论文
Magnetic domain structure of a technically patterned ferromagnetic La_<0.6>Sr_<0.4>MnO_3 thin film
技术图案化铁磁La_<0.6>Sr_<0.4>MnO_3薄膜的磁畴结构
DOI： --
发表时间： 2007
期刊： Appl. Phys. Lett. 91
影响因子： --
作者： [M. Kubota, T. Taniuchi, R. Yasuhara, H. Kumigashira, M. Oshima, K. Ono, H. Okazaki, T. Wakita, T. Yokoya, H. Akinaga, M. Lippmaa, M. Kawasaki, H. Koinuma]
通讯作者： H. Koinuma
Epitaxial growth and surface metallic nature of LaNIO3 thin films
DOI： 10.1063/1.2955534
发表时间： 2008-07
期刊： Applied Physics Letters
影响因子： 4
作者： [K. Tsubouchi;I. Ohkubo;H. Kumigashira;Y. Matsumoto;T. Ohnishi;M. Lippmaa;H. Koinuma;M. Oshima]
通讯作者： K. Tsubouchi;I. Ohkubo;H. Kumigashira;Y. Matsumoto;T. Ohnishi;M. Lippmaa;H. Koinuma;M. Oshima
Temperature-dependence of the electronic structure of La1-xSrxMnO3 thin films studied by in situ photoemission spectroscopy
原位光电子能谱研究 La1-xSrxMnO3 薄膜电子结构的温度依赖性
DOI： --
发表时间： 2007
期刊： J. Elec. Spect. Rel. Phenom 156-158
影响因子： --
作者： [K. Horiba, A. Chikamatsu, H. Kumigashira, M. Oshima, A. Fujimori, M. Lippmaa, M. Kawasaki, H. Koinuma]
通讯作者： H. Koinuma
Oxide materials research for global environment and energy with a focus on CO2 fixation into polymers
DOI： 10.1016/j.reactfunctpolym.2007.08.010
发表时间： 2007-11-01
期刊： REACTIVE & FUNCTIONAL POLYMERS
影响因子： 5.1
作者： [Koinuma, Hideomi]
通讯作者： Koinuma, Hideomi
共 10 条
    Fabrication of the oxide single crystal film by Tri-phase Epitaxy
    • 批准号：
      14350459
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $10.88万
    • 财政年份：
      2002
    • 负责人：
      KOINUMA Hideomi
    • 依托单位：
      Tokyo Institute of Technology
    Investigation of a light-induced Structure change of amorphous materials by using laser ablation method
    • 批准号：
      10450329
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $9.02万
    • 财政年份：
      1998
    • 负责人：
      KOINUMA Hideomi
    • 依托单位：
      Tokyo Institute of Technology
    Development and application of atmospheric pressure cold plasma polymerization for surface treatment of polymer
    • 批准号：
      10555324
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $2.82万
    • 财政年份：
      1998
    • 负责人：
      KOINUMA Hideomi
    • 依托单位：
      Tokyo Institute of Technology
    Development of cold plasma torch for dry process, under atmospheric pressure
    • 批准号：
      07555268
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
    • 资助金额：
      $9.54万
    • 财政年份：
      1995
    • 负责人：
      KOINUMA Hideomi
    • 依托单位：
      Tokyo Institute of Technology