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High Speed and High Precision Measurement of Nanometric 3D Edge Profiles of Next Generation Diamond Micro-Tools

High Speed and High Precision Measurement of Nanometric 3D Edge Profiles of Next Generation Diamond Micro-Tools
下一代金刚石微型刀具纳米 3D 边缘轮廓的高速高精度测量
批准号：
18206016
负责人：
GAO Wei
金额：
$32.03万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
财政年份：
2006
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2006 至 2008
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-18206016/
关键词：
エッジ3次元形状計測マイクロ工具光プローブアライメントAFM三次元形状

项目摘要

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先端のコ-ナ半径が非常に小さな(1μm程度)超精密切削加工用のダイヤモンドツールのエッジの形状を原子間力顕微鏡(AFM)により計測するため, 専用の計測装置を製作した. また, 計測の際に必要となるAFMプローブとツールとの位置合わせ(アライメント)を実現するため, 光プローブを利用したアライメント機構を開発した.
英文摘要
先端のコ-ナ半径が非常に小さな(1μm程度)超精密切削加工用のダイヤモンドツールのエッジの形状を原子間力顕微鏡(AFM)により計測するため, 専用の計測装置を製作した. また, 計測の際に必要となるAFMプローブとツールとの位置合わせ(アライメント)を実現するため, 光プローブを利用したアライメント機構を開発した.
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会议论文
3D Profile Measurement of Nanometer Cutting Edges of Single-Point Diamond Tools for Ultra-Precision Maching
用于超精密加工的单点金刚石刀具纳米切削刃的 3D 轮廓测量
DOI： --
发表时间： 2009
期刊： Advanced Material Research 69-70(in press)
影响因子： --
作者： [Y. Arai, T. Asai, S. Ferdous and W. Gao]
通讯作者： S. Ferdous and W. Gao
Precision and fast measurement of 3D cutting edge profiles of single point diamond micra-tools
精确快速地测量单点金刚石微型刀具的 3D 切削刃轮廓
DOI： --
发表时间： 2009
期刊： Annals of the CIRP 58(In press)
影响因子： --
作者： [W. Gao, T. Asai, Y. Arai]
通讯作者： Y. Arai
Development of a three-axis laser autocollimator for measurement of angular error motions of a next-generation ultra-precision positioning stage
  • 批准号：
    24360050
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $11.98万
  • 财政年份：
    2012
  • 负责人：
    GAO Wei
  • 依托单位：
    Tohoku University
XYZ three-axis surface encoder with a single measurement point based on interference of diffraction beams
  • 批准号：
    21360057
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $12.4万
  • 财政年份：
    2009
  • 负责人：
    GAO Wei
  • 依托单位：
    Tohoku University
High-accuracy Fabrication of Large Area Micro-Structured Metrology Surface by a Nano-Machining Probe with Surface Profile Measurement Function
  • 批准号：
    15360063
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $8.58万
  • 财政年份：
    2003
  • 负责人：
    GAO Wei
  • 依托单位：
    Tohoku University
An Ultra-precision Measurement System for Next Generation 400 mm Silicon Wafers
  • 批准号：
    12555032
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $8.32万
  • 财政年份：
    2000
  • 负责人：
    GAO Wei
  • 依托单位：
    Tohoku University
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