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High Speed and High Precision Measurement of Nanometric 3D Edge Profiles of Next Generation Diamond Micro-Tools
下一代金刚石微型刀具纳米 3D 边缘轮廓的高速高精度测量
基本信息
- 批准号：18206016
- 负责人：
- 金额：$ 32.03万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
- 财政年份：2006
- 资助国家：日本
- 起止时间：2006 至 2008
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
先端のコ-ナ半径が非常に小さな(1μm程度)超精密切削加工用のダイヤモンドツールのエッジの形状を原子間力顕微鏡(AFM)により計測するため, 専用の計測装置を製作した. また, 計測の際に必要となるAFMプローブとツールとの位置合わせ(アライメント)を実現するため, 光プローブを利用したアライメント機構を開発した.
The radius of the tip is very small (about 1μm), and the measuring device for ultra-precision machining is manufactured. In addition, if it is necessary during measurement to implement the AFM interface and interface location, the optical interface will be utilized and the interface mechanism will be developed.
项目成果
期刊论文数量（34）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
3D Profile Measurement of Nanometer Cutting Edges of Single-Point Diamond Tools for Ultra-Precision Maching
用于超精密加工的单点金刚石刀具纳米切削刃的 3D 轮廓测量
- DOI：
- 发表时间：2009
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Y. Arai;T. Asai;S. Ferdous and W. Gao
- 通讯作者：S. Ferdous and W. Gao
Precision and fast measurement of 3D cutting edge profiles of single point diamond micra-tools
精确快速地测量单点金刚石微型刀具的 3D 切削刃轮廓
- DOI：
- 发表时间：2009
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：W. Gao;T. Asai;Y. Arai
- 通讯作者：Y. Arai
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$ 32.03万 - 项目类别：
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26420195 - 财政年份：2014
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$ 32.03万 - 项目类别：
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$ 32.03万 - 项目类别：
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