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Development of a three-axis laser autocollimator for measurement of angular error motions of a next-generation ultra-precision positioning stage

Development of a three-axis laser autocollimator for measurement of angular error motions of a next-generation ultra-precision positioning stage
开发用于测量下一代超精密定位平台角误差运动的三轴激光自准直仪
批准号：
24360050
负责人：
GAO Wei
金额：
$11.98万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2012
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2012-04-01 至 2015-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-24360050/
关键词：
超精密計測3軸レーザオートコリメータ多軸角度計測回折格子超精密位置決め計測角度誤差ステージ超高感度光センサアッベ誤差アッべ誤差角度センサレーザフォトダイオード感度反射格子分解能

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Fabrication of two-dimensional micro patterns for adaptive optics by using laser interference lithography
使用激光干涉光刻制造自适应光学的二维微图案
DOI： --
发表时间： 2015
期刊：
影响因子： --
作者： [Xinghui Li, Yindi Cai, Ryo Aihara, Yuki Shimizu, So Ito and Wei Gao]
通讯作者： So Ito and Wei Gao
Design and testing of a four-probe optical sensor head for three-axis surface encoder with a mosaic scale grating
DOI： 10.1088/0957-0233/25/9/094002
发表时间： 2014-09-01
期刊： MEASUREMENT SCIENCE AND TECHNOLOGY
影响因子： 2.4
作者： [Shimizu, Yuki, Ito, Takeshi, Gao, Wei]
通讯作者： Gao, Wei
A micro optical probe for edge contour evaluation of diamond cutting tools
DOI： 10.5194/jsss-3-69-2014
发表时间： 2014-03
期刊： Journal of Sensors and Sensor Systems
影响因子： 1
作者： [S. Jang;Y. Shimizu;S. Ito;W. Gao]
通讯作者： S. Jang;Y. Shimizu;S. Ito;W. Gao
XYZ三軸振動センサに関する研究-第二報 信号処理系の最適化と微小振動計測について-
XYZ三轴振动传感器研究-第二份报告：信号处理系统优化及微小振动测量-
DOI： --
发表时间： 2014
期刊：
影响因子： --
作者： [Pin Wen, Naoki Takano and Yuma Miyauchi, 波多野恭平，高野直樹，月野誠，A. Michel，G. Haiat, 丸山泰司，清水裕樹，Siew-Leng TAN， 村田大，伊東聡，高偉, 大出航平，松田哲也，後藤圭太, 相原涼，伊藤武志，伊東聡，清水裕樹，高偉]
通讯作者： 相原涼，伊藤武志，伊東聡，清水裕樹，高偉
共 30 条
    XYZ three-axis surface encoder with a single measurement point based on interference of diffraction beams
    • 批准号：
      21360057
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $12.4万
    • 财政年份：
      2009
    • 负责人：
      GAO Wei
    • 依托单位：
      Tohoku University
    High Speed and High Precision Measurement of Nanometric 3D Edge Profiles of Next Generation Diamond Micro-Tools
    • 批准号：
      18206016
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
    • 资助金额：
      $32.03万
    • 财政年份：
      2006
    • 负责人：
      GAO Wei
    • 依托单位：
      Tohoku University
    High-accuracy Fabrication of Large Area Micro-Structured Metrology Surface by a Nano-Machining Probe with Surface Profile Measurement Function
    • 批准号：
      15360063
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $8.58万
    • 财政年份：
      2003
    • 负责人：
      GAO Wei
    • 依托单位：
      Tohoku University
    An Ultra-precision Measurement System for Next Generation 400 mm Silicon Wafers
    • 批准号：
      12555032
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $8.32万
    • 财政年份：
      2000
    • 负责人：
      GAO Wei
    • 依托单位：
      Tohoku University