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Development of a three-axis laser autocollimator for measurement of angular error motions of a next-generation ultra-precision positioning stage
开发用于测量下一代超精密定位平台角误差运动的三轴激光自准直仪
基本信息
- 批准号：24360050
- 负责人：
- 金额：$ 11.98万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- 财政年份：2012
- 资助国家：日本
- 起止时间：2012-04-01 至 2015-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
Fabrication of two-dimensional micro patterns for adaptive optics by using laser interference lithography
使用激光干涉光刻制造自适应光学的二维微图案
- DOI：
- 发表时间：2015
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Xinghui Li;Yindi Cai;Ryo Aihara;Yuki Shimizu;So Ito and Wei Gao
- 通讯作者：So Ito and Wei Gao
Design and testing of a four-probe optical sensor head for three-axis surface encoder with a mosaic scale grating
- DOI：10.1088/0957-0233/25/9/094002
- 发表时间：2014-09-01
- 期刊：
- 影响因子：2.4
- 作者：Shimizu, Yuki;Ito, Takeshi;Gao, Wei
- 通讯作者：Gao, Wei
A micro optical probe for edge contour evaluation of diamond cutting tools
- DOI：10.5194/jsss-3-69-2014
- 发表时间：2014-03
- 期刊：
- 影响因子：1
- 作者：S. Jang;Y. Shimizu;S. Ito;W. Gao
- 通讯作者：S. Jang;Y. Shimizu;S. Ito;W. Gao
XYZ三軸振動センサに関する研究-第二報 信号処理系の最適化と微小振動計測について-
XYZ三轴振动传感器研究-第二份报告：信号处理系统优化及微小振动测量-
- DOI：
- 发表时间：2014
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Pin Wen;Naoki Takano and Yuma Miyauchi;波多野恭平，高野直樹，月野誠，A. Michel，G. Haiat;丸山泰司，清水裕樹，Siew-Leng TAN， 村田大，伊東聡，高偉;大出航平，松田哲也，後藤圭太;相原涼，伊藤武志，伊東聡，清水裕樹，高偉
- 通讯作者：相原涼，伊藤武志，伊東聡，清水裕樹，高偉
Investigation of a femtosecond laser for measurement of angular displacement
用于测量角位移的飞秒激光器的研究
- DOI：
- 发表时间：2013
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Yukitoshi KUDO;Siew-Leng TAN;Yuki SHIMIZU;So ITO;and Wei GAO
- 通讯作者：and Wei GAO
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GAO Wei其他文献
Theoretical consideration on composite oxide scales and coatings
复合氧化皮和镀层的理论思考
- DOI：
10.1016/s1002-0721(12)60300-7 - 发表时间：
2013-05 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
HE Yedong;GAO Wei - 通讯作者：
GAO Wei
通信天线信道容量机电耦合建模及阵元位置灵敏度分析
- DOI：
- 发表时间：
2020 - 期刊：
- 影响因子：
- 作者：
王艳;王从思;雷婷;张枫涛;许谦;李海华;王伟锋;GAO Wei;杜彪;黎昞 - 通讯作者：
黎昞
Seismogenic capability of the northeastern segment of the Longmenshan thrust zone and its tectonic role at the eastern Tibetan Plateau
龙门山逆冲带东北段的发震能力及其对青藏高原东部的构造作用
- DOI：
10.1111/1755-6724.13428 - 发表时间：
2017-10 - 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
SUN Haoyue;HE Honglin;SHI Feng;GAO Wei - 通讯作者：
GAO Wei
生态因子对萱藻(Scytosiphon lomentaria)孢子体生长发育的影响
- DOI：
- 发表时间：
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：
邢永泽;宫相忠;高伟;尹宝树;XING Yong-Ze;GONG Xiang-Zhong;GAO Wei;YIN Bao-Shu - 通讯作者：
YIN Bao-Shu
Static Characteristics of the New Type Nozzle Flapper Amplifier for Double Nozzle Flapper Electro-hydraulic Servo Valve
双喷嘴挡板电液伺服阀新型喷嘴挡板放大器的静态特性
- DOI：
- 发表时间：
2012 - 期刊：
- 影响因子：2.5
- 作者：
ZHOU Miao-lei;GAO Wei;YANG Zhi-gang - 通讯作者：
YANG Zhi-gang
GAO Wei的其他文献
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{{ truncateString('GAO Wei', 18)}}的其他基金
XYZ three-axis surface encoder with a single measurement point based on interference of diffraction beams
基于衍射光束干涉的单测量点XYZ三轴平面编码器
- 批准号：
21360057 - 财政年份：2009
- 资助金额：
$ 11.98万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
High Speed and High Precision Measurement of Nanometric 3D Edge Profiles of Next Generation Diamond Micro-Tools
下一代金刚石微型刀具纳米 3D 边缘轮廓的高速高精度测量
- 批准号：
18206016 - 财政年份：2006
- 资助金额：
$ 11.98万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
High-accuracy Fabrication of Large Area Micro-Structured Metrology Surface by a Nano-Machining Probe with Surface Profile Measurement Function
利用具有表面轮廓测量功能的纳米加工探针高精度制造大面积微结构计量表面
- 批准号：
15360063 - 财政年份：2003
- 资助金额：
$ 11.98万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
An Ultra-precision Measurement System for Next Generation 400 mm Silicon Wafers
适用于下一代 400 mm 硅片的超精密测量系统
- 批准号：
12555032 - 财政年份：2000
- 资助金额：
$ 11.98万 - 项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)