XYZ three-axis surface encoder with a single measurement point based on interference of diffraction beams

基于衍射光束干涉的单测量点XYZ三轴平面编码器

• 批准号: 21360057
• 负责人: GAO Wei
• 金额: $ 12.4万
• 依托单位: Tohoku University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
• 财政年份: 2009
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2009 至 2011
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21360057/
• 关键词: 多軸計測; 微細格子; 平面ステージ; 回折光

A new type of XYZ three-axis surface encoder has been developed for measurement and control of next-generation XYZ three-axis stages. In the surface encoder, a single laser beam is projected onto a micro-structured surface grating. A compact sensor head, which can be mounted on the stage, has been designed and constructed. It has been verified that the surface encoder has the ability to measure the three-axis XYZ displacements with a resolution of 0. 1 nm over a measurement area of 100mm(X)x 100mm(Y)x 1mm(Z)by using the information from the single measurement point.

针对新一代XYZ三轴工作台的测量和控制，研制了一种新型XYZ三轴面形编码器。在表面编码器中，单个激光束被投射到微结构表面光栅上。一个紧凑的传感器头，它可以安装在舞台上，已被设计和建造。经验证，该表面编码器具有测量三轴XYZ位移的能力，分辨率为0。通过使用来自单个测量点的信息，在100 mm（X）x 100 mm（Y）x 1 mm（Z）的测量区域上测量1 nm。

项目成果

Industry-Oriented Precision Nanometrology

面向工业的精密纳米计量学

• 发表时间: 2011
• 作者: Wei Gao;Kang-Won Lee;Yuki Shimizu;So Ito
• 通讯作者: So Ito

回折光干渉型3軸サーフェスエンコーダに関する研究-短ピッチXY格子に対応したセンサヘッドの開発-

衍射光干涉型3轴面编码器的研究 - 与短节距XY光栅兼容的传感头的开发 -

• 发表时间: 2009
• 作者: 木村彰秀;荒井義和;高偉;曽理江
• 通讯作者: 曽理江

Position and out-of-straightness measurement of a precision linear air-bearing stage by using a two-degree-of-freedom linear encoder

• DOI: 10.1088/0957-0233/21/5/054005
• 发表时间: 2010-05-01
• 期刊: MEASUREMENT SCIENCE AND TECHNOLOGY
• 影响因子: 2.4
• 作者: Kimura, Akihide;Gao, Wei;Zeng Lijiang
• 通讯作者: Zeng Lijiang

回折光干渉型3軸サーフェスエンコーダに関する研究-XYZ格子形状誤差マップによる計測誤差非線形分の補正-

衍射光干涉型3轴面编码器的研究 - 利用XYZ光栅形状误差图修正测量误差非线性成分 -

• 发表时间: 2010
• 作者: 木村彰秀;高偉;曽理江
• 通讯作者: 曽理江

Precision Nanometrology

精密纳米计量学

• 发表时间: 2010
• 作者: 坂本信;牧岡諒太;笹川圭右;田邊裕治;吉田秀義;小林公一;Wei Gao
• 通讯作者: Wei Gao