XYZ three-axis surface encoder with a single measurement point based on interference of diffraction beams

基于衍射光束干涉的单测量点XYZ三轴平面编码器

基本信息

  • 批准号:
    21360057
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 12.4万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 财政年份:
    2009
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2009 至 2011
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

A new type of XYZ three-axis surface encoder has been developed for measurement and control of next-generation XYZ three-axis stages. In the surface encoder, a single laser beam is projected onto a micro-structured surface grating. A compact sensor head, which can be mounted on the stage, has been designed and constructed. It has been verified that the surface encoder has the ability to measure the three-axis XYZ displacements with a resolution of 0. 1 nm over a measurement area of 100mm(X)x 100mm(Y)x 1mm(Z)by using the information from the single measurement point.
针对新一代XYZ三轴工作台的测量和控制,研制了一种新型XYZ三轴面形编码器。在表面编码器中,单个激光束被投射到微结构表面光栅上。一个紧凑的传感器头,它可以安装在舞台上,已被设计和建造。经验证,该表面编码器具有测量三轴XYZ位移的能力,分辨率为0。通过使用来自单个测量点的信息,在100 mm(X)x 100 mm(Y)x 1 mm(Z)的测量区域上测量1 nm。

项目成果

期刊论文数量(0)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
Industry-Oriented Precision Nanometrology
面向工业的精密纳米计量学
  • DOI:
  • 发表时间:
    2011
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Wei Gao;Kang-Won Lee;Yuki Shimizu;So Ito
  • 通讯作者:
    So Ito
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  • DOI:
  • 发表时间:
    2009
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    木村彰秀;荒井義和;高偉;曽理江
  • 通讯作者:
    曽理江
Position and out-of-straightness measurement of a precision linear air-bearing stage by using a two-degree-of-freedom linear encoder
  • DOI:
    10.1088/0957-0233/21/5/054005
  • 发表时间:
    2010-05-01
  • 期刊:
  • 影响因子:
    2.4
  • 作者:
    Kimura, Akihide;Gao, Wei;Zeng Lijiang
  • 通讯作者:
    Zeng Lijiang
回折光干渉型3軸サーフェスエンコーダに関する研究-XYZ格子形状誤差マップによる計測誤差非線形分の補正-
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  • DOI:
  • 发表时间:
    2010
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    木村彰秀;高偉;曽理江
  • 通讯作者:
    曽理江
Precision Nanometrology
精密纳米计量学
  • DOI:
  • 发表时间:
    2010
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    坂本信;牧岡諒太;笹川圭右;田邊裕治;吉田秀義;小林公一;Wei Gao
  • 通讯作者:
    Wei Gao
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  • 发表时间:
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  • 作者:
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  • 通讯作者:
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  • 通讯作者:
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