XYZ three-axis surface encoder with a single measurement point based on interference of diffraction beams
基于衍射光束干涉的单测量点XYZ三轴平面编码器
基本信息
- 批准号:21360057
- 负责人:
- 金额:$ 12.4万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
- 财政年份:2009
- 资助国家:日本
- 起止时间:2009 至 2011
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
A new type of XYZ three-axis surface encoder has been developed for measurement and control of next-generation XYZ three-axis stages. In the surface encoder, a single laser beam is projected onto a micro-structured surface grating. A compact sensor head, which can be mounted on the stage, has been designed and constructed. It has been verified that the surface encoder has the ability to measure the three-axis XYZ displacements with a resolution of 0. 1 nm over a measurement area of 100mm(X)x 100mm(Y)x 1mm(Z)by using the information from the single measurement point.
针对新一代XYZ三轴工作台的测量和控制,研制了一种新型XYZ三轴面形编码器。在表面编码器中,单个激光束被投射到微结构表面光栅上。一个紧凑的传感器头,它可以安装在舞台上,已被设计和建造。经验证,该表面编码器具有测量三轴XYZ位移的能力,分辨率为0。通过使用来自单个测量点的信息,在100 mm(X)x 100 mm(Y)x 1 mm(Z)的测量区域上测量1 nm。
项目成果
期刊论文数量(0)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
Industry-Oriented Precision Nanometrology
面向工业的精密纳米计量学
- DOI:
- 发表时间:2011
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Wei Gao;Kang-Won Lee;Yuki Shimizu;So Ito
- 通讯作者:So Ito
回折光干渉型3軸サーフェスエンコーダに関する研究-短ピッチXY格子に対応したセンサヘッドの開発-
衍射光干涉型3轴面编码器的研究 - 与短节距XY光栅兼容的传感头的开发 -
- DOI:
- 发表时间:2009
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:木村彰秀;荒井義和;高偉;曽理江
- 通讯作者:曽理江
Position and out-of-straightness measurement of a precision linear air-bearing stage by using a two-degree-of-freedom linear encoder
- DOI:10.1088/0957-0233/21/5/054005
- 发表时间:2010-05-01
- 期刊:
- 影响因子:2.4
- 作者:Kimura, Akihide;Gao, Wei;Zeng Lijiang
- 通讯作者:Zeng Lijiang
回折光干渉型3軸サーフェスエンコーダに関する研究-XYZ格子形状誤差マップによる計測誤差非線形分の補正-
衍射光干涉型3轴面编码器的研究 - 利用XYZ光栅形状误差图修正测量误差非线性成分 -
- DOI:
- 发表时间:2010
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:木村彰秀;高偉;曽理江
- 通讯作者:曽理江
Precision Nanometrology
精密纳米计量学
- DOI:
- 发表时间:2010
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:坂本信;牧岡諒太;笹川圭右;田邊裕治;吉田秀義;小林公一;Wei Gao
- 通讯作者:Wei Gao
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