氮化镓高场载流子输运研究-猫眼课题宝

氮化镓高场载流子输运研究

批准号：

22K20423

负责人：

前田拓也

金额：

$1.83万

依托单位：

The University of Tokyo

依托单位国家：

日本

项目类别：

Grant-in-Aid for Research Activity Start-up

财政年份：

2022

资助国家：

日本

项目状态：

已结题

起止时间：

2022-08-31 至 2024-03-31

来源：

https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-22K20423/

关键词：

窒化ガリウムパワーデバイス高周波デバイス高電界効果ドリフト速度

项目摘要

项目成果

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英文摘要

2022年度は，窒化ガリウム(GaN)のドリフト速度測定に向けて，高電界ドリフト速度の測定系の立ち上げを行った．高電圧パルス電源とオシロスコープをマニュアルプローバーに直接組み合わせることで，寄生インダクタンスなどの影響を極力排除した極めて短いパルス幅での電流-電圧測定系の構築に取り組んだ．想定される抵抗範囲(50 Ω - 1 kΩ)の既知の抵抗に対して，立ち上がり時間10 ns, パルス幅 < 500 ns の電圧印加・電流測定に成功した．上記と並行して，測定デバイスの検討と設計，作製を行った．共同研究により所望のエピウエハを入手し，東京大学の武田先端知スーパークリーンルームによるデバイス作製プロセスの構築を行った．リソグラフィやGaNエッチング，電極蒸着などを駆使することで，測定用デバイスを作製した．現在は，作製したデバイスの基礎特性を評価に取り組んでおり，2023年度には高電界ドリフト速度を測定できる見込みである．

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