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Basic study on synthesis of heavily boron-doped diamond wafers

Basic study on synthesis of heavily boron-doped diamond wafers
重硼掺杂金刚石晶片合成的基础研究
批准号：
25889074
负责人：
OHMAGARI Shinya
金额：
$0.92万
依托单位：
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Research Activity Start-up
财政年份：
2013
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2013-08-30 至 2014-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-25889074/
关键词：
ダイヤモンドホウ素ドープ低抵抗ウェハ化学気相成長法欠陥欠陥解析高温高圧法フィラメントCVD

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发表时间： 2014
期刊：
影响因子： --
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通讯作者： 大曲 新矢，山田 英明，茶谷原 昭義，鹿田 真一
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发表时间： 2014
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发表时间： 2014-04
期刊： Japanese Journal of Applied Physics
影响因子： 1.5
作者： [S. Ohmagari;T. Hanada;Y. Katamune;S. Al-Riyami;T. Yoshitake]
通讯作者： S. Ohmagari;T. Hanada;Y. Katamune;S. Al-Riyami;T. Yoshitake
共 8 条
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