课题基金 / 基金详情

Study of oxidation mechanisms in Ge and SiGe

Study of oxidation mechanisms in Ge and SiGe
Ge和SiGe的氧化机理研究
批准号:
16H02331
负责人:
Toriumi Akira
金额:
$29.29万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
财政年份:
2016
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2016-04-01 至 2019-03-31

项目摘要

项目成果

Toriumi Akira的其他基金

相似基金

相关文献

中文摘要
翻译
点击翻译按钮获取中文摘要
英文摘要
期刊论文(40)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
SiGeの熱酸化機構
SiGe的热氧化机理
DOI: --
发表时间: 2018
期刊:
影响因子: --
作者: [宋 宇振, 李 秀妍, 野間 勇助, 西村 知紀, 鳥海 明]
通讯作者: 鳥海 明
"Materials And Process Controls For Scalable and Reliable Germanium Gate Stacks"
“可扩展且可靠的锗门堆栈的材料和过程控制”
DOI: --
发表时间: 2016
期刊:
影响因子: --
作者: [呂 琳, 熊谷征久, 鈴木匠, 東川 甲平, 木須 隆暢, Akira. Toriumi]
通讯作者: Akira. Toriumi
"Study of Thermal Oxidation Mechanism of Germanium"
《锗的热氧化机理研究》
DOI: --
发表时间: 2017
期刊:
影响因子: --
作者: [Wang Xu, 西村 知紀, 矢嶋 赳彬, 鳥海 明]
通讯作者: 鳥海 明
鳥海研究室ホームページ
鸟海实验室主页
DOI: --
发表时间:
期刊:
影响因子: --
作者: []
通讯作者:
36
    Study of carrier scattering mechanisms by Ge isotope and interface roughness in Ge thin films
    • 批准号:
      25249032
    • 项目类别:
      Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
    • 资助金额:
      $29.87万
    • 财政年份:
      2013
    • 负责人:
      Toriumi Akira
    • 依托单位:
    海外基金