電子プローブによる光・電子デバイス材料および実装素子のナノ組織解析技術の進展

使用电子探针的光学/电子器件材料和安装元件的纳米结构分析技术的进展

• 批准号: 15631005
• 负责人: 桑野 範之
• 金额: $ 2.18万
• 依托单位: Kyushu University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2003
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2003 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-15631005/
• 关键词: 電子顕微鏡; デバイス材料; 組織制御; 結晶成長; 格子欠陥; 構造評価; 構造解析; 電子プローブ

本研究課題では、透過型電子顕微鏡(TEM)、走査型電子顕微鏡(SEM)、マイクロカソード蛍光(μ-CL)などの構造解析評価技術の発展を目指した研究活動を行った.近年の光・電子デバイスの発展は目覚しく、微細化と高集積化が進んでいる.それに伴って,より高性能化を図るために組織制御・組織解析評価技術も一層の高度化が要求されている。透過型電子顕微鏡はその目的には極めて有力な手段であるが,試料作製や観察技術、解析法がやや難解であることが多くの実務技術者から敬遠される原因となっている.そこで、現在の最先端電子顕微鏡技術の実態を把握するだけではなく,デバイス結晶成長、デバイス開発の現場での要望を拾い上げ,それを電子顕微鏡技術研究者と電子顕微鏡メーカーの技術研究者に提示することにより,問題解決を図った.実際には、電顕技術研究者、デバイス開発技術研究者,結晶成長研究者、電顕メーカー技術研究者に分担者になっていただき,九州大学産学連携センターにおいて2回の研究会を開催した.まず、平成15年7月のスタートアップ会議において,それぞれの立場からの情報と要望を出していただき,平成16年1月の本会議で詳細に議論した.その結果,試料作製技術などに改善の必要があるものの、現在の技術を十分に駆使すればかなりの部分は解決できる見通しがあることが判明した.これは、これまで、電顕技術の供給側と利用側との間の情報交換が不十分であったことに由来する部分が多い.また、ハードとソフトの両面で実際の材料解析に改善を要する点が多く指摘できた.たとえば、化学組成分布のマッピングや結晶方位解析においても、データ解析ソフトを少し改良すれば特別の装置でなくてもある程度のデータが得られることがわかった.さらに、3次元表示、ホログラム解析技術の応用にも新しい指針を示すことができた。

This research topic is: transmission electron microscopy (TEM), scanning electron microscopy (SEM), and makoカソード荍光(μ-CL)などのStructural Analysis Evaluation Technology の発Developmentを Eyes Referring to Research Activitiesを行った. Recent The light of the year, the development of electronic technology, the miniaturization and high integration, The requirements for high performance and high performance of the organization control and organization analysis and evaluation technology are high. Transmissive electron microscopy has the best purpose, the most powerful means, and the best specimen production and observation technology, Analytical method is difficult to solve.そこで、Currently the most cutting-edge electronic micromirror technology is in control of the state of the art, and the crystallization of デバイスGrowth, development and development of the field of science and technology, electronic micromirror technology researcher and electronicsすることにより, the technology researcher of the micromirror technology, the problem is solved, 実记には, Electron technology researcher, electrochemical technology researcher, crystal growth researcher, electrochemical technology researcher The 2nd research meeting held by Kyushu University Industry-Academic Collaboration Association and the Participant Urgent.まず、July 2015 のスタートアップ meeting において, それぞれの Position からThe information and the key points are discussed in detail at this meeting in January 2016. The conclusion is As a result, it is necessary to improve the sample production technology, and the current technology is very useful. Part of the solution to the problem The information exchange between the supply side and the utilization side is not very clear.た、ハードとソフトの両面で実interiorの Material analysisに IMPROVEMENTを要するPointが多く选出できた.たとえば, chemical composition distribution のマッピングや crystal orientation analysis においても, データ analysis ソフトをThe improvement of the special device is the improvement of the special device.さらに, 3-dimensional representation, ホログラムanalytic technology, の応, にも新しいPointer, すことができた.