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集束イオンビームを用いた新機能電子デバイス・材料の研究

利用聚焦离子束研究新型功能电子器件和材料

基本信息

批准号：
62790200
负责人：
平本俊郎
金额：
$ 1.15万
依托单位：
The University of Tokyo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份：
1987
资助国家：
日本
起止时间：
1987 至 1988
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-62790200/
关键词：

项目摘要

项目成果

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