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化学反応制御による半導体超微粒、超薄膜結晶の作製と新物性

化学反応制御による半導体超微粒、超薄膜結晶の作製と新物性
化学反应控制半导体超细晶粒和超薄膜晶体的制备及新物理性能
批准号：
03205036
负责人：
清水 勇
金额：
$1.15万
依托单位：
Tokyo Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1991
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1991 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-03205036/
关键词：
II VI族化合物擬平衡構造正則混晶超格子構造

项目摘要

项目成果

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新規に開発した低温結晶成長技術、Hydrogen Radical Enhanced Chemical Vapour Deposition(HRーCVD)法を用いて、人工的な構造を持つII VI族化合物結晶の作製を行いその構造および特性評価を行った。(1)ZnSe/ZnS_<0.1>、Se_<0.9>超格子構造ZnSeを井戸層としZnSSeをバリア層とする超格子構造薄膜をGaAs(100)基板上に堆積し、X線回折(XRD)ラマン散乱スペクトル解析からその構造を確認すると共に、蛍光(PL)測定結果から欠陥が少なく高品質超格子が得られた。(2)ZnSe/ZnS短周期超格子構造と正則混晶格子長の異なるZnSe,ZnSを原子層で制御し、積層する事で化学組成を変調した擬平衡構造結晶の作製を試みた。まず、[(ZnS)m(ZnSe)m]_n(m=1〜5)構造結晶をGaAs(100)基板上に成長させ、その構造およびPL特性の評価を行った。この結果自由励起子発光強度の強い高品質膜が得られ、同時に発光ピ-クがmの減少と共に高エネルギ-側にシフトする量子効果が見い出された。又、GaAs基板の格子定数に近い組成を持つ混晶[(ZnS)_1(ZnSe)_<12>]_nを原子層積層法で作り、その構造、PL特性に正則混晶の特異性を見い出した。この他、傾斜ポテンシャル構造などこれまでその作製が困難であった化学組成の変調を伴う擬平衡構造結晶の作製に成功しており、HRーCVD法の有用性を確認した。
期刊论文(8)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
Jun Gotoh: "Low‐temperature Growth of ZnSe‐based pseudomorphic Structures by hydrogen‐radical‐enhanced chemical vapor deposition" Jaurnal of Crystal Growth. (1991)
Jun Gotoh：“通过氢自由基增强化学气相沉积实现 ZnSe 基假晶结构的低温生长”《晶体生长杂志》（1991 年）。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
Jun Gotoh: "Coherent Growth of ZnSe Thin Film at Low Growh Temperature by Hydrogen Radical Enhanced Chemical Vapor Deposition" Japanese Journal of Applied Physics. 29. L1767-L1770 (1990)
Jun Gotoh：“通过氢自由基增强化学气相沉积在低生长温度下实现 ZnSe 薄膜的相干生长”日本应用物理学杂志。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
Jun Gotoh: "Improvement of Photoluminescence Properties of ZnSe Film Grown by Hydrogen Radical‐Enhanced Chemical Vapor Deposition Using Alternate Gas Supply and Substrate Bias Application" Japanese Journal of Applied Physics. 30. (1991)
Jun Gotoh：“使用替代气体供应和衬底偏压应用氢自由基增强化学气相沉积法生长的 ZnSe 薄膜的光致发光性能”，《日本应用物理学杂志》30。（1991 年）
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
Jun Gotoh: "Growth of ZnSe and ZnSSe at Low Temperature with Aid of Atomic Hydrogen and Alternate Gas Supply" Material Reseach Societh Symposium Proceeding. 222. 257-262 (1991)
Jun Gotoh：“借助原子氢和替代气体供应在低温下生长 ZnSe 和 ZnSSe”材料研究学会研讨会论文集。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
50年間暗黒条件下で継代飼育したショウジョウバエの遺伝子変異と行動に関する研究
  • 批准号：
    16657069
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Exploratory Research
  • 资助金额：
    $1.34万
  • 财政年份：
    2004
  • 负责人：
    清水 勇
  • 依托单位：
    Kyoto University
アモルファス・シリコンの中距離構造の制御と新機能創成
  • 批准号：
    11120215
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (A)
  • 资助金额：
    $1.28万
  • 财政年份：
    1999
  • 负责人：
    清水 勇
  • 依托单位：
    Tokyo Institute of Technology
アモルファス・シリコンの中距離構造の制御と光電流増倍効果
  • 批准号：
    09239214
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额：
    $1.28万
  • 财政年份：
    1997
  • 负责人：
    清水 勇
  • 依托单位：
    Tokyo Institute of Technology
アモルファス・シリコンの中距離構造の制御と新機能創成
  • 批准号：
    10133214
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (A)
  • 资助金额：
    $1.28万
  • 财政年份：
    1997
  • 负责人：
    清水 勇
  • 依托单位：
    Tokyo Institute of Technology