课题基金 / 基金详情

イオン化蒸着法を用いて作製した低損失光導波路変調素子の開発

イオン化蒸着法を用いて作製した低損失光導波路変調素子の開発
开发采用电离气相沉积法制造的低损耗光波导调制器
批准号:
07246213
负责人:
臼井 博明
金额:
$1.54万
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份:
1995
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
1995 至 --

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
非線形光学薄膜は光導波路変調素子の最も重要な要素であり、特に主鎖型高分子非線形光学材料の薄膜化が大きな課題である。本研究ではイオン化蒸着法を用いてモノマー分子を共蒸着し、基板に印加するイオン加速電圧や蒸着粒子自信の電荷によって、分子配向を制御した非線形光学高分子薄膜の作製を試みた。このためにまず新規な2元イオン化蒸着重合装置を開発し、これを用いて4,4'-diphenylmethane diisocyanate(MDI)と1,3-di(4-piperidyl)propane(PIP)を共蒸着することでポリ尿素薄膜の重合を試みた。蒸着膜の赤外吸収スペクトルは、モノマーのイソシアナ-トの吸収が大きく減少し、尿素結合のカルボニルの吸収が強く現れたことから重合膜の生成を確認した。得られた膜は波長300nm以上の可視領域に吸収を持たず、透明性が高いことから、低損失光導波路素子への応用に適していると考えられる。紫外領域における吸光度のp偏光0°及び45°入射での異方性を測定した結果、イオン加速電圧を0から500V程度まで増大することによって2色性が増大することが観察された。これはイオン化蒸着によって分子配向が制御できることを示している。メーカーフリジン法により第2高調波発生(SHG)を測定した結果、イオン化蒸着膜はポーリングを行わずともSHG活性を示し、イオン加速電圧の増大によってd定数が増大することが示された。1000Vを越える高い加速電圧ではSHG挙動に異常が観察され、通常のポーリング膜とは異なった配向を取る可能性が示唆された。
英文摘要
非線形光学薄膜は光導波路変調素子の最も重要な要素であり、特に主鎖型高分子非線形光学材料の薄膜化が大きな課題である。本研究ではイオン化蒸着法を用いてモノマー分子を共蒸着し、基板に印加するイオン加速電圧や蒸着粒子自信の電荷によって、分子配向を制御した非線形光学高分子薄膜の作製を試みた。このためにまず新規な2元イオン化蒸着重合装置を開発し、これを用いて4,4'-diphenylmethane diisocyanate(MDI)と1,3-di(4-piperidyl)propane(PIP)を共蒸着することでポリ尿素薄膜の重合を試みた。蒸着膜の赤外吸収スペクトルは、モノマーのイソシアナ-トの吸収が大きく減少し、尿素結合のカルボニルの吸収が強く現れたことから重合膜の生成を確認した。得られた膜は波長300nm以上の可視領域に吸収を持たず、透明性が高いことから、低損失光導波路素子への応用に適していると考えられる。紫外領域における吸光度のp偏光0°及び45°入射での異方性を測定した結果、イオン加速電圧を0から500V程度まで増大することによって2色性が増大することが観察された。これはイオン化蒸着によって分子配向が制御できることを示している。メーカーフリジン法により第2高調波発生(SHG)を測定した結果、イオン化蒸着膜はポーリングを行わずともSHG活性を示し、イオン加速電圧の増大によってd定数が増大することが示された。1000Vを越える高い加速電圧ではSHG挙動に異常が観察され、通常のポーリング膜とは異なった配向を取る可能性が示唆された。
期刊论文(6)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
H.Usui: "Effect of substrate temperature on the deposition of polytetrafluoroethylene by an ionization-assisted evaporation method" Journal of Vacuum Science and Technology A. 13. 2318-2324 (1995)
H.Usui:“基材温度对电离辅助蒸发法沉积聚四氟乙烯的影响”真空科学与技术杂志 A.13.2318-2324 (1995)
DOI: --
发表时间:
期刊:
影响因子: --
作者: []
通讯作者:
臼井博明: "有機EL新製造技術としてのイオン化蒸着法" 電子材料. 27-31 (1996)
Hiroaki Usui:“电离气相沉积法作为有机EL的新制造技术”《电子材料》27-31(1996)。
DOI: --
发表时间:
期刊:
影响因子: --
作者: []
通讯作者:
田中邦明: "イオン化蒸着法によるPTCDA薄膜の形成" 信学技報. 95. 51-56 (1995)
Kuniaki Tanaka:“通过电离气相沉积法形成PTCDA薄膜” IEICE技术报告。 95. 51-56 (1995)。
DOI: --
发表时间:
期刊:
影响因子: --
作者: []
通讯作者:
気液混相型マイクロフォーム電解質の開拓と低環境負荷めっきプロセスへの応用
物理蒸着法による真空中でのポリペプチド薄膜の形成と表面プラズモンによる評価
イオン化蒸着法による重合薄膜形成と配向制御
  • 批准号:
    09217213
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额:
    $0.96万
  • 财政年份:
    1997
  • 负责人:
    臼井 博明
  • 依托单位:
表面プラズモンによるイオン化蒸着有機薄膜の評価
  • 批准号:
    08231218
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额:
    $1.28万
  • 财政年份:
    1996
  • 负责人:
    臼井 博明
  • 依托单位:
海外基金