イオンビーム蒸着法による有機エレクトロルミネセンス薄膜の安定化

离子束蒸发稳定有机电致发光薄膜

• 批准号: 05750007
• 负责人: 臼井 博明
• 金额: $ 0.51万
• 依托单位: Tokyo University of Agriculture and Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
• 财政年份: 1993
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1993 至 1994
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-05750007/
• 关键词: イオン化蒸着; 有機エレクトロルミネセンス; 有機EL; アルミニウムキリノール

本研究では有機EL用薄膜の高品質化を目的として、イオン化蒸着法による有機薄膜の形成を試みた。ここで扱う有機ELは、ホール輸送層と電子輸送性発光層を積層し、界面での電荷注入により発光を得るものである。そこでまず発光層としてイオン化蒸着法によりアルミニウムキノリノール(Alq)薄膜を形成し、次に発光層としてポリビニルカルバゾール(PVCz)を用いたEL素子を試作した。本研究で得られた結果は次の通りである。(1)イオン化蒸着によるAlq薄膜の形成蒸着イオンの加速エネルギーを変化させてAlq薄膜を作製し、その基礎的膜物性を評価した。X線光電子分光分析の結果、300V程度のイオン加速電圧を印加することによって膜中の不純物に起因すると考えられる酸素が減少した。さらにフォトルミネセンス測定では、不純物酸素の減少に伴って蛍光強度の増大が観察された。(2)EL素子の試作ITOガラス基板上に50nm厚のPVCz膜をスピンコートし、その上にイオン化蒸着によって50nm厚のAlq膜を蒸着し、さらにアルミニウムまたはマグネシウム電極を真空蒸着して素子を作製した。この素子は約10Vの印加電圧で発光を開始し、20V・10mA/cm^2の動作条件で1200cd/m^2の輝度が得られた。Alq蒸着のイオン加速電圧を印加すると同一動作電圧下での発光輝度が増大したが、加速電圧が高すぎると素子を流れる漏れ電流が増大し、効率は低下する蛍光が観察された。このようにイオン化蒸着法を用いると蒸着条件によって膜物性を制御できるため、有機EL素子の特性を改善できる可能性がある。

In this study, the purpose of high-quality treatment of で で organic EL with thin films is を, and the を organic thin films are formed by the て evaporation method to create を experiments みた. こ こ で Cha う organic EL は, ホ ー ル transport layer と electronic transmission sex 発 light を horizon し, interface で の charge injection に よ り 発 を too light る も の で あ る. そ こ で ま ず 発 light layer と し て イ オ ン steamed the law に よ り ア ル ミ ニ ウ ム キ ノ リ ノ ー ル を (Alq) film forming し, time に 発 light layer と し て ポ リ ビ ニ ル カ ル バ ゾ ー ル (PVCz) を い た EL element し を try son た. In this study, で obtained られた results で times <s:1> through である である. (1) イ オ ン the steamed に よ る の Alq film forming steamed イ オ ン の accelerate エ ネ ル ギ ー を variations change さ せ て Alq film を as し, そ の based membrane property を review 価 し た. の X-ray photoelectron spectroscopic analysis result, the degree of 300 v の イ オ ン accelerating electric 圧 を Inca す る こ と に よ っ て in membrane の impurity content に cause す る と exam え ら れ る acid element が reduce し た. Youdaoplaceholder0 ネセ ネセ ネセ ス ス is used to determine で, and the impurity acid content <s:1> decreases に accompanied by an increase in って蛍 light intensity <e:1>. Youdaoplaceholder6 is observed as された. (2) EL element ITO の try son ガ ラ ス substrate に 50 nm thick の PVCz membrane を ス ピ ン コ ー ト し, そ の on に イ オ ン the steamed に よ っ て 50 nm thick の Alq membrane を steamed し, さ ら に ア ル ミ ニ ウ ム ま た は マ グ ネ シ ウ ム electrode を vacuum steaming the し て element system し を son た. こ の element child は about 10 v の Inca electric 圧 で 発 light を start し, 20 v, 10 ma/cm ^ 2 action condition の で 1200 CD/m ^ 2 の luminance が must ら れ た. Alq steamed の イ オ ン accelerating electric 圧 を Inca す る と under the same action electric 圧 で の 発 brightness degree が raised large し た が, accelerating electric 圧 が high す ぎ る と element child を flow れ が raised large し る れ leakage current, low working rate は す る 蛍 light が 観 examine さ れ た. こ の よ う に イ オ ン steamed the law を with い る と steamed conditions に よ っ て membrane property を suppression で き る た め, organic EL element の features を improve で き る possibility が あ る.

项目成果

H.Usui et al.: "PTCDA FILMS DEPOSITED BY IONIZED BEAM METHOD" Mat.Res.Xoc.Symp.Proc.316(発表予定). (1994)

H. Usui 等人：“PTCDA FILMS DEPOSITED BY IONIZED BEAM METHOD”Mat.Res.Xoc.Symp.Proc.316（待提交）。