ナノ構造創成のための光メカトロニクスに関する総括研究

用于创建纳米结构的光机电一体化综合研究

• 批准号: 12131101
• 负责人: 羽根 一博
• 金额: $ 10.3万
• 依托单位: Tohoku University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
• 财政年份: 2000
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2000 至 2004
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-12131101/
• 关键词: プローブ技術; プローブアレイ; マイクロアクチュエータ; 表面マイクロマシニング; ナノメートル加工; ナノメートル; メカトロニクス; 近接場光; マイクロプローブ; マイクロマシニング; マイクロマシン; ナノ構造

本研究の目的は特定研究(B)「ナノ構造創成のための光メカトロニクス」を円滑に推進するために、総括機能を発揮すること,本研究の構成メンバーの先鋭的な研究に高所より助言を与えること,特定研究全体の研究方針の策定、研究項目間の企画の調整、研究成果の広報、研究結果に対する評価・助言を行うこと,また必要に応じて研究会等の企画に助言や招待講演者の推薦を行うことである.本年度は過去4年間に実施した特定領域研究「ナノ構造創成のための光メカトロニクス」総括のため,これまでに得られた成果を取りまとめた.取りまとめにおいては,交付申請書において申請したように取りまとめを本の執筆により行うこととした.本の執筆では,広く成果を公表できるように,先端成果を記載するとともに,基礎編を設けることで理解を助け,一般の読者から,専門家まで興味が持てるような構成とした.執筆内容の討論のため,総括班で集まり,具体的な成果の取りまとめ,本の執筆方法,内容の分担等を打ち合わせた.また,相互の調整には,インターネット討論やメイル等で意見交換を行った.全編4章からなり,初めの2章が基礎編で光ナノテクノロジーの基礎I-光と物質の相互作用-,光とナノテクノロジー基礎II-微細加工-である.後半の2章は光ナノテクノロジー先端I-近接場と光技術-,光ナノテクノロジー先端II-微細加工とナノ構造-である.これらの執筆を研究代表者全員で分担し,作成した.

The purpose of this study is to conduct a specific study (B) on the development of structural innovation and integration functions, and the composition of this study is to provide guidance on the formulation of research policies, the adjustment of research projects, the publication of research results, and the evaluation of research results. It is necessary to assist in the planning of the seminar and to entertain the speaker's recommendation. This year, we have been conducting research in specific fields in the past 4 years, including "structural innovation and light management", and we have obtained achievements in this field. Take the application form, take the application form, and write it. The author of this article is interested in writing, writing. The discussion of writing content, the collection of classes, the selection of specific results, the writing method, the sharing of content, etc. The exchange of views on mutual adjustment, discussion, etc. Chapter 4, Chapter 2, Basic Part I-Interaction of Light and Matter-, Basic Part II-Micromachining-. The second half of Chapter 2 is Optics: Near-field: Near-field: Optics: Near-field: Optics: Near-field: Near-field: Optics: Near-field: Near-field: Optics: Near-field: Near-field: Optics: Near-field: Near-field: The author of this paper is a representative of all the researchers.

项目成果

V.-K.Singh, M.Sasaki, J.-H.Song, K.Hane: "Heating Effect on Photoresist in Spray Coating Technique for Three-Dimentional Lithography"Japanese Journal of Applied Physics. 42,6B. 4027-4030 (2003)

V.-K.Singh、M.Sasaki、J.-H.Song、K.Hane：“三维光刻喷涂技术中光刻胶的热效应”日本应用物理学杂志。

H.Kawakatsu, D.Saya, H.Toshiyoshi, H.Fujita: "Millions of cantilevers for atomic force microscopy"Review of Scientific Instruments. 3(印刷中). (2002)

H.Kawakatsu、D.Saya、H.Toshiyoshi、H.Fujita：“用于原子力显微镜的数百万悬臂”科学仪器评论 3（出版中）。

Y.Kanamori, H.Yahagi, T.Ono, M.Sasaki, K.Hane: "Fabrication of High-Accuracy Microtranslation Table for Near-Field Optical Data Storage Actuated by Inverted Scratch Drive Actuators"Japanese Journal of Applied Physics. 42,6B. 4074-4078 (2003)

Y.Kanamori、H.Yahagi、T.Ono、M.Sasaki、K.Hane：“由反向划痕驱动致动器驱动的近场光学数据存储的高精度微平移表的制作”日本应用物理学杂志。

Shinya Ohkubo, Norihiro Umeda: "Near-field Scanning Optical Microscope Based on Fast Birefringence Measurement"Materials and Sensor. 13・8. 433-443 (2001)

Shinya Ohkubo、Norihiro Umeda：“基于快速双折射测量的近场扫描光学显微镜”13・8（2001）。

D.Saya, K.Fukushima, H.Toshiyoshi, G.Hshiguchi, H.Fujita, H.Kawakatsu: "Fabrication of single-crystal Si cantilever array"Journal of Sensors and Actuators : A.Physical. 3(印刷中). (2002)

D.Saya、K.Fukushima、H.Toshiyoshi、G.Hshiguchi、H.Fujita、H.Kawakatsu：“单晶硅悬臂阵列的制造”传感器与执行器杂志：A.Physical。 (2002)