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アモルファスSiを利用した光導波路一体型カンチレバーの製作

非晶硅光波导集成悬臂梁的制作

基本信息

批准号：
10135203
负责人：
羽根一博
金额：
$ 1.47万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (A)
财政年份：
1998
资助国家：
日本
起止时间：
1998 至无数据
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-10135203/
关键词：
アモルファスSi 光導波路カンチレバープローブ

项目摘要

非伝播性のエバネッセント波から伝播性の光に変換するために、近接場顕微鏡においては尖ったファイバープローブや微細加工プローブが用いられる。よく用いられるファイバープローブに比較して、微細加工プローブの特徴はプローブに多機能を付加できるSiデバイスとの集積化が可能であることである。SiO_xN_y,Si_3N_4やSiO_2などの材料が従来、導波路材料として用いられている。一方、アモルファスシリコン(α-Si)は結晶Siデバイスとの製造互換性をもった興味ある材料であるが、導波路の材料としてはあまり用いられてこなかった。α-Siは0.82μm以上の波長の光に対して吸収が激減し、ほとんど透明になる。一方、結晶Siは1.1μm以上の赤外光において透明である。0.82μm-1.1μmの波長領域に対してα-Siは透明媒質として働き、結晶Siは吸収材料として働く。また、この領域には高出力GaAlAs半導体レーザの波長が含まれている。α-Siが高い屈折率(3.6)を持つことから微小領域に光を閉じこめることが期待でき、クラッドの材料として多くの選択が可能となる。これらのことより、本研究ではα-Siを用いて導波路型カンチレバーを製作した。半導体レーザを全反射角でプリズムに入射し発生させたエバネッセント波により、プリズム表面に近付けたα-Siカンチレバーを照射し、その様子を光学顕微鏡により観察した。反りのためカンチレバー中を伝播する光がカンチレバーの中央から漏れ出ているのが見られた。広いカンチレバーの方が先端が三角型のカンチレバーよりも明るい光出力が得られた。α-Siカンチレバーからの光の放射を観測することで基本的な導波特性を確認した。次にSiフォトダイオードや半導体レーザなどとの集積化を試みる。

Non-broadcast materials, such as micromachining, and so on. It is possible to improve the performance of the Si system by using multiple computers, such as microprocessor, microprocessor and microprocessor. SiO_xN_y,Si_3N_4 SiO_2 materials, wave materials, materials, materials and materials. On the other hand, the Si (α-Si) crystal is used to make the interchangeability and taste of the material and the material of the wave. The wavelength of α-Si is above 0.82 μ m. The photoluminescence spectrum absorbs the excitation wave and transparently absorbs the laser wave. One side, the crystal Si is above 1.1 μ m, and the infrared light is transparent. In the wavelength range of 0.82 μ m-1.1 μ m, α-Si transparent media and crystal Si absorbent materials are highly sensitive. The wave length of the GaAlAs half-body with high output in the field of microwave and microwave includes the wave length of the semi-conductor. Alpha-Si has a high refractive rate (3.60). It has a wide range of optical properties, such as light, light, expectation, material, and so on. In this study, the alpha-Si was used in this study. Half-body, full reflection angle, full reflection angle, incident wave, surface, α-Si, optical micrometer, optical micrometer, optical micrometer. In the middle of the broadcast, there is a leak in the middle of the window. In the first place, there is a triangle at the end of the square. Alpha-Si radiation is sensitive to light emission. Basic wave properties are confirmed. The next time you Si, you need to make sure that you have an active collection of semifinished products.