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2つの独立したプラズマ発生源による炭化水素系プラズマ中のラジカル反応制御

使用两个独立的等离子体源控制碳氢化合物等离子体中的自由基反应

基本信息

批准号：
63632527
负责人：
大木義路
金额：
$ 2.05万
依托单位：
Waseda University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1988
资助国家：
日本
起止时间：
1988 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

プラズマCVDでは混合気体を用いて生膜することが多いが、ガスの混合比によってプラズマ自体の状態が変化することが考えられる。本研究では、異種のモノマーガスを独立に励起した後に混合する方法(独立励起)を用いて有機薄膜を作製し、プラズマからの発光特性や生成膜のIRスペクトルに関してモノマーの混合ガスを励起して成膜する場合(混合励起)と比較した。装置は半球状のガラスベルジャーに2本の枝管部を持ち、それぞれにRF電力によるキャリアカス励起部を持つ。この励起部で生成したキャリアガスのフローイングアフターグロー中にモノマーガスをそれぞれ導入し、ベルジャー内で反応させて成膜を行った。混合励起の場合には、1本の枝管部を持つ半球状ガラスベルジャーを用いて、キャリアガスのアフターグロー中にモノマーガスの混合ガスを導入した。モノマーガスにはエチレンとアリルアミンを、キャリアガスにはアルゴンを用いた。ライトガイドによって半球状ガラスベルジャーの頂部から10mm下の部分を狙って採光し、発光分光分析を行った。生成膜の分析はKBr単結晶板上に膜を堆積させてFT-IRによって行った。発光分光分析によって測定したNHラジカルの発光強度をCHラジカルの発光強度で規格化した。この比を混合励起・独立励起のそれぞれについて求めた。また、それぞれの放電条件において生成した膜のFT-IRスペクトルを求め、3000cm^<-1>付近のC-H振動と、3300cm^<-1>付近のN-H振動の吸収ピークを比較した。その結果生成した膜中におけるC-H結合とN-H結合の量的な関係は発光分光分析におけるNHラジカルの発光とCHラジカルの発光の比と正の相関を有することが確かめられた。このことを利用して、膜中への窒素導入量をモニターすることが可能であると思われる。

The chemical vapor deposition process is characterized by a mixture of organic and inorganic phases. In this study, we compared the method of independent excitation followed by hybrid excitation (independent excitation) for organic thin films, the light-emitting characteristics of organic thin films, and the IR characteristics of organic thin films. The device has a hemispherical shape, and its branch pipe part is connected with the RF power supply part. The first part of the excitation is to form a film. In the case of mixed excitation, the branch pipe part of the first part of the first part of the firstモノマーガスにはエチレンとアリルアミンを、キャリアガスにはアルゴンを用いた。The top part of the dome below 10 mm was analyzed by light and emission spectroscopy. Film formation analysis: film deposition on KBr crystal plate by FT-IR Emission spectroscopic analysis determines the emission intensity and normalizes the emission intensity. The ratio of mixed excitation and independent excitation is different. The FT-IR spectrum of the film produced under the condition of the lithium ion source is compared with the absorption spectrum of the C-H vibration near 3000cm and the N-H vibration near 3300cm.<-1><-1>The relationship between the amount of C-H binding and N-H binding in the resulting film is confirmed by spectroscopic analysis. The amount of protein introduced into the membrane may be reduced by the amount of protein introduced into the membrane.