Untersuchung elastischer und struktureller Eigenschaften von Hartstoffschichten durch Brillouin-Lichtstreuspektroskopie

使用布里渊光散射光谱研究硬质材料层的弹性和结构特性

• 批准号: 5076736
• 负责人: Professor Dr. Burkard Hillebrands
• 金额: --
• 依托单位: Arbeitsgruppe Magnetismus
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2000
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1999-12-31 至 2005-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5076736?language=en
• 关键词: Untersuchung; elastischer; und; struktureller; Eigenschaften

Aus der Dispersion akustischer Oberflächenwellen werden mehrere unabhängige elastische Konstanten dünner Hartstoffschichten bestimmt. Es sollen Untersuchungen an Bornitrid- und an amorphen Kohlenstoffschichten sowie an Schichten aus Metallkarbiden und an Siliziumkarbid durchgeführt werden. Durch die Temperatur, den Ionenfluß und die Ionenenergie wird die Mikrostruktur des aufwachsenden Materials in erheblichem Maße beeinflußt. Über diese Parameter werden Phasenänderungen, beispielsweise von nanokristallinem zu amorphem Aufbau erzwungen und für die technische Nutzbarkeit wichtige Eigenschaften, wie Härte, Elastizität, Verschleißfestigkeit und Haftfestigkeit, gezielt eingestellt. Durch die geplanten Messungen wird die Veränderung des elastischen Tensors in Abhängigkeit von den Depositionsbedingungen aufgeklärt. Hierdurch lassen sich Aussagen über die Kristallitorientierung und damit über die Textur der Schicht treffen. Die Brillouin-Lichtstreuspektren liefern zusätzliche Information über die Kristallitgröße.

Aus der Dispersion akustischer Oberflächenwellen韦尔登mehrere unabhängige elastische Konstanten dünner Hartstoffschichten bestimmt.通过韦尔登和硅肥处理，可解决硼氮化合物和无定形的Kohlenstoffschichten sowie。随着温度、离子流和离子能量的变化，材料的微观结构将受到影响。Über diese Parameter韦尔登Phasenänderungen，beispielsweise von nanokristallinem zu amorphem Aufbau erzwungen und für die technische Nutzbarkeit wichtige Eigenschaften，wie Härte，Elastizität，Verschleißfestigkeit und Haftfestigkeit，gezielt eingestellt.然后，在Abhängigkeit中，将弹性张量的Veränderung von den Depositionsbedingungen aufgeklärt进行测量。随后，我们开始制作水晶装饰，并对水晶装饰的纹理进行了破坏。布里渊光脉冲将信息转化为晶体光脉冲。