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Realization of non-dislocation SiC crystal
无位错SiC晶体的实现
基本信息
- 批准号：23246004
- 负责人：
- 金额：$ 31.12万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
- 财政年份：2011
- 资助国家：日本
- 起止时间：2011-04-01 至 2014-03-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
The improvement of substrate quality is important to apply SiC materials to high-performance power device. The purpose of this study is to achieve "ultra-high quality" crystal grown by solution growth method. In our research, it has been revealed that threading dislocations are converted to other defects in the basal planes by macrosteps advancing and the converted defects are swept from the crystal during growth process. In addition, the converted ratio depends on the height and microstructure of the macrosteps. Utilizing this conversion phenomenon, we have demonstrated the ultra-high quality growth of SiC.
提高衬底质量是SiC材料应用于高性能功率器件的关键。本研究的目的是利用溶液法生长出“超高质量”的晶体。在我们的研究中，它已被揭示，线程位错转化为其他缺陷的基面上的宏台阶前进和转换的缺陷被扫除的晶体在生长过程中。此外，转化率取决于宏台阶的高度和微观结构。利用这种转换现象，我们已经证明了SiC的超高质量生长。
项目成果
期刊论文数量（65）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
“4H-SiC溶液成長における成長表面のステップ構造と貫通転位変換挙動の相関”
“4H-SiC溶液生长中生长表面的阶梯结构与螺纹位错转变行为之间的相关性”
- DOI：
- 发表时间：2013
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：金;竹田;他;原田俊太，山本祐治，肖世玉，堀尾篤史，田川美穂，宇治原徹
- 通讯作者：原田俊太，山本祐治，肖世玉，堀尾篤史，田川美穂，宇治原徹
Conversion Mechanism of Threading Screw Dislocation during SiC Solution Growth
SiC固溶生长过程中螺纹螺位错的转换机制
- DOI：10.4028/www.scientific.net/msf.717-720.351
- 发表时间：2012
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：T.Ujihara;S.Kozawa;K.Seki;Alexander;Y.Yamamoto;S.Harada
- 通讯作者：S.Harada
Surface Morphology and Threading Dislocation Conversion Behavior during Solution Growth of 4HSiC Using Al-Si Solvent
使用 Al-Si 溶剂溶液生长 4HSiC 期间的表面形貌和螺纹位错转换行为
- DOI：10.4028/www.scientific.net/msf.778-780.67
- 发表时间：2014
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：S.Harada;Y.Yamamoto;S.Y.Xiao;M.Tagawa;T.Ujihara
- 通讯作者：T.Ujihara
Ultra-high quality SiC crystal grown by solution method
溶液法生长超高品质SiC晶体
- DOI：
- 发表时间：2014
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Takeoka;Y.;T.Ujihara
- 通讯作者：T.Ujihara
High-Efficiency Conversion of Threading Screw Dislocations in 4H-SiC by Solution Growth
通过溶液生长高效转化 4H-SiC 中的螺纹螺型位错
- DOI：10.1143/apex.5.115501
- 发表时间：2012
- 期刊：
- 影响因子：0
- 作者：Y.Yamamoto;S.Harada;K.Seki;A.Horio;T.Mitsuhashi;T.Ujihara
- 通讯作者：T.Ujihara
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