UVアシスト研磨における高濃度オゾン水供給の効果

供应高浓度臭氧水在紫外辅助抛光中的效果

基本信息

  • 批准号:
    23K03618
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 3万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 财政年份:
    2023
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2023-04-01 至 2026-03-31
  • 项目状态:
    未结题

项目摘要

项目成果

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