课题基金 / 基金详情

UVアシスト研磨における高濃度オゾン水供給の効果

UVアシスト研磨における高濃度オゾン水供給の効果
供应高浓度臭氧水在紫外辅助抛光中的效果
批准号：
23K03618
负责人：
山口 桂司
金额：
$3.0万
依托单位：
Kyoto Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2023
资助国家：
日本
项目状态：
未结题
起止时间：
2023-04-01 至 2026-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-23K03618/
关键词：
シリコンカーバイド研磨鏡面加工オゾン水ワイドギャップ半導体

项目摘要

项目成果

相似基金

相关文献

中文摘要
翻译
点击翻译按钮获取中文摘要
英文摘要
期刊论文(0)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
国内基金
海外基金
小型自动频动研磨装置设计优化
  • 批准号：
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2026
  • 负责人：
    刘萍萍
  • 依托单位：
    南京科技职业学院
软磁材料研磨工艺优化研究及研磨控制系统开发
  • 批准号：
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2026
  • 负责人：
    廖华勇
  • 依托单位：
    常州大学
基于磁粒研磨的超精密加工技术及其工艺开发
  • 批准号：
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2026
  • 负责人：
    陈晓明
  • 依托单位：
    江苏海事职业技术学院
激光—超声时序调控下单晶碳化硅微结构/非晶复合层非平衡态研磨机理研究
  • 批准号：
    52505513
  • 项目类别：
    青年科学基金项目（C类）
  • 资助金额：
    30.00万元
  • 批准年份：
    2025
  • 负责人：
    张航
  • 依托单位：
    天津理工大学