Herstellung von dünnen Lanthangallat-Membranen für oxidkeramische Brennstoffzellen durch Laserdeposition, Kathodenzerstäubung und elektrochemische Gasphasenabscheidung

点击翻译按钮获取中文摘要

Ziel dieses Projektes ist die Entwicklung von Beschichtungstechnologien für die Realisierung oxidkeramischer Brennstoffzellen mit dünnen Elektrolytschichten von maximal 2 µm Dicke vorzugsweise aus Lanthangallat.Bei Schichtdicken dieser Größenordnung müssen spezielle Beschichtungsmethoden eingesetzt werden. Dieser Herstellungsweg stößt jedoch auf das Problem, daß die Elektrolytschicht auf einer der beiden porösen Elektroden der SOFC abgeschieden werden muß. Die `richtige' Beschaffenheit des porösen Substrates ist daher eine wichtige Voraussetzung für die Herstellung gasdichter dünner Schichten.Drei verschiedene Schichtherstellungsverfahren - Sputtering, Metal Organic Electrochemical Vapour Deposition (MO-EVD) und Pulsed Laser Deposition (PLD) - sollen für das Ziel der Dünnschichtherstellung vergleichend erprobt, für diese Aufgabe angepaßt und die Grenzen dieser Methoden erarbeitet werden.