Metallorganische Gasphasenabscheidung von dünnen Germanium-Antimon-Tellurid-Schichten
薄锗碲化锑层的有机金属气相沉积
基本信息
- 批准号:21358569
- 负责人:
- 金额:--
- 依托单位:
- 依托单位国家:德国
- 项目类别:Research Grants
- 财政年份:2006
- 资助国家:德国
- 起止时间:2005-12-31 至 2008-12-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
Germanium-Antimon-Tellurid-Schichten zeigen eine hohe, mehrere Größenordnungen betragende Änderung des Schichtwiderstandes bei Übergang von der kristallinen in die amorphe Phase und umgekehrt. Diese Eigenschaft lässt sich zur nicht-flüchtigen Speicherung von Informationen benutzen. Eine mögliche bedeutende Anwendung dieser Schichten ist in den sogenannten PCRAMs (Phase Change Random Access Memory) gegeben. Im Rahmen des beantragten Vorhabens sollen dünne Schichten aus Germanium-Antimon- Tellurid (abgekürzt: GST) in einem chemischen Gasphasenabscheidungsprozeß unter Verwendung von Germanium-, Antimon- und Tellur-Precursoren niedergeschlagen, mit Stickstoff in-situ dotiert und charakterisiert werden. Die Charakterisierung der hergestellten Materialien erfolgt hinsichtlich ihrer Zusammensetzung, ihrer Struktur, ihrer Morphologie und ihrer elektrischen Eigenschaften. Zur Charakterisierung des Überganges von der amorphen zur kristallinen bzw. von der kristallinen zur amorphen Phase und des Speichereffektes werden fein strukturierte Testbauelemente bestehend aus Metall/GST-Schicht/Metall-Widerstandsstrukturen untersucht.
Ge-Antimon-Tellurid-Schichten zeigen eine Hohe,mehrere Gröbe enordnungen exvergende des Schichtwiderung es beeäberang von der der kristallinen in die amorphe阶段and umgekehrt.中国日报Lässt sich zur Nicht-flüchtigen Speicherung von Informationen Benutzen.Eine Mögliche be dedeutende Anwendung Dieser Schichten ist in den sgenannten PCRam(相变随机存取存储器)gegeben.Im Rahmen des beantragen Vorhabens Sollen dünne Schichten Aus Germanium-Antimon-Tellurid(abgekürzt:GST)in einem Chemischen Gabasenabscheidungsprozeüter Verwendung von Germanium-,Antimon-und Tellur-Precursoren niedergeschlagen,MIT Stickstoff原位dotiert and Charakterisiert Werden。这是一种新的材料的特征,它由祖萨门塞宗、斯图克图尔、形态学和形象学组成。这是一个非常重要的阶段,也是一个非常重要的阶段,也是最重要的一步,也就是Metall/GST-Schicht/Metall-Widerstandsstrukturen。
项目成果
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