Entwicklung eines Meßsystems für dreidimensional ortsaufgelöste, kohärente Spektroskopie und Zeitbereichsanalysen im Terahertz-Frequenzbereich zur bildgebenden Durchleuchtung und Tomographie

开发用于荧光镜成像和断层扫描的太赫兹频率范围内的三维空间分辨相干光谱和时域分析测量系统

• 批准号: 5132512
• 负责人: Professor Dr. Heinrich Kurz (†)
• 金额: --
• 依托单位: AMO GmbH - Gesellschaft für Angewandte Mikro- und Optoelektronik mbH
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 1998
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1997-12-31 至 2002-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5132512?language=en
• 关键词: Entwicklung; eines; Me; systems; dreidimensional

Gegenstand dieses Fortsetzungsantrages ist die Entwicklung eines zeit- und ortsaufgelösten Analysesystems im TerahertzFrequenzbereich, welches mittels kohärenter Messtechnik die breitbandigen Transmissions- (THz-Durchleuchtung) und Reflexionseigenschaften (THzTomographie) einer Probe erfasst. Neben der Weiterentwicklung des Systems, ist ein essentieller Schwerpunkt des Projektes die breitere Erschließung von Anwendungsgebieten die das Potential der Messtechnik demonstrieren: Im Bereich der Halbleitertechnik sollen statische und dynamische Ladungsträgerdichten und -beweglichkeiten ortsaufgelöst detektiert werden (Wafermapping). Damit soll die Möglichkeit zur in situ Charakterisierung von Herstellungsprozessen für Halbleiter- und Supraleiterbauelemente demonstriert werden. Zusätzliche Einsatzmöglichkeiten in der Medizin (dermatologische Diagnostik) und Qualitätskontrolle (Beschichtungsanalysen), sowie zur Charakterisierung neuartiger Halbleiter Quantenpunkte (Nanodots) sollen weiter ausgearbeitet und evaluiert werden. Für das gesamte Messsystem müssen Algorithmen der digitalen Bildverarbeitung zur Datenanalyse, Rauschfilterung und Visualisierung weiterentwickelt und optimiert werden.

Gegenstand Dieses Fortsetzungsantrages ist die Entwicklug eines eines Zeit-and or tsaufelösten Analyesys in Terahertz Frequenzbereich，Well mittels Kohärenter Messtechnik die breitbandien Transport-(THZ-Durchleuchtung)and Reflexion seigigenschaften(THzTomgraph)einer探头erFasst。新的微细技术和系统，这是一个基本的施沃朋克特和项目是简短的Erschlieüung ung von von Anwendungsgebieten die das das Potential der Messtechnik demstrieren：Im Bereich der HalbleiterTechnik Sollen Statische and Dynamische Ladungsträgerdichten und-beweglichkeiten or tsaufelöst detektiert wden(Wafermap)。他说：“这是一件非常重要的事情。”Zusätzliche Einsatzmöglichkeiten in der Medizin(皮肤病诊断)and Quality itätskontrolle(Beschichtungsanalysen)，Sowie zur Charakterisierung Neuartiger Halbleiter Quantpenkte(Nanodts)Sollen weiter augearbeitet and valuiert witet.Für das gesamte Messsystem müssen算法实现了数字数据分析、Rauschfilterung和Visualisierung Weterentwickelt and Optimiert。