Fabrication of monolithic bidirectional switches (MBS)

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Innerhalb des DFG-Schwerpunktprogramms "Halbleiterbauelemente hoher Leistung" wurde im Teilprojekt "Hochsperrende Zweirichtungsventile" der TU Braunschweig (Gruppe Prof. Sittig) eine neue Bauelementstruktur zur Patentanmeldung eingereicht. Es wird angestrebt, diesen bislang nur auf Konzeptskizzen und Simulationen basierenden MOS-gesteuerten bidirektionalen Schalter (MBS) in einer für die Halbleitertechnologie der Mikroelektronik nicht typischen, doppelseitigen Prozesstechnologie monolithisch auf intrinsischem Silizium zu erarbeiten. Im Rahmen dieser Technologie-Vorlaufstudie wird erwartet, dass die prognostizierten hervorragenden elektrischen Daten des MBS anhand von realen Bauelementmustern bestätigt werden können. Die Forschungsarbeiten erfolgen in enger Kooperation mit dem Simulationspartner TU Braunschweig, der auch die Charakterisierung der realisierten Bauelemente übernehmen wird.