Interdiffusionsprozesse bei der Herstellung von dünnen Sol-Gel-Beschichtungen auf Glassubstraten

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In verschiedensten Anwendungsbereichen spielen durch Beschichtungen veredelte Gläser hinsichtlich der Verbesserungen ihrer Eigenschaften eine immer größere Rolle. Es können gezielte optische, mechanische, elektrische und chemische Effekte durch die so erhaltene Oberflächenvergütung eingestellt werden. Ein Großteil der Schicht-Substrat-Verbindungen muß mit Hilfe einer Temperaturbehandlung hergestellt oder verfestigt werden. Die Mechanismen, denen die einzelnen Komponenten von Schicht und Substrat bei diesem Prozeß unterliegen, sind noch nicht geklärt. Diese Arbeit soll sich unter Anwendung der SNMS mit der Bestimmung von Tiefenprofilen verschieden behandelter SchichtGlas-Verbunde beschäftigen. Hierbei sollen sowohl die Einflüsse von Ofenführung (Temperaturen, Haltezeiten, Aufheizraten) als auch variierende Zusammensetzungen von Substraten betrachtet werden. Zusätzliche Messungen mit SIMS/IBSCA und NRA sind geplant. Die auftretenden Transportmechanismen sollen modellmäßig beschrieben werden.