Ionenstrahlmodifizierung von polymeren Funktionsschichten zur gezielten Einstellung von Sensorfunktionen

聚合物功能层的离子束改性，用于有针对性地调整传感器功能

• 批准号: 5158996
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Gerald Gerlach
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Festkörperelektronik (IFE)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 1999
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1998-12-31 至 2002-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5158996?language=en
• 关键词: Ionenstrahlmodifizierung; von; polymeren; Funktionsschichten; zur

Der Antrag betrifft die Nutzung polymerer Funktionsschichten für mikrotechnische Sensoren, vorzugsweise auf Halbleiterbasis. Ziel des Forschungsprojektes ist es, durch die Modifikation dieser Polymerschichten geänderte, langzeitstabile Eigenschaften zu erreichen und damit die Genauigkeit und Stabilität entsprechender Festkörpersensoren zu erhöhen. Es soll untersucht werden, inwieweit durch Ionenstrahlmodifizierung die passivierenden, die dielektrischen und die mechanischen Eigenschaften sowie die mechanische und chemische Widerstandsfähigkeit beeinflußt werden. Die Untersuchungen konzentrieren sich auf die in Voruntersuchungen als aussichtsreich ermittelten aromatischen, polaren Polymere mit Imid-, Ether- und Sulfongruppen. An einem Demonstrator soll beispielhaft die Wirkung von solchen polymeren Funktionsschichten mit entsprechend optimal veränderter Oberfläche oder Volumen dieser Schichten auf die Genauigkeit und Langzeiteigenschaften untersucht werden.

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