Untersuchungen an leitfähigen Polymerkompositen zur Anwendbarkeit in Mikrobolometer-Arrays

导电聚合物复合材料在微测辐射热计阵列中的应用研究

• 批准号: 63239806
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Gerald Gerlach
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Festkörperelektronik (IFE)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2008
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2007-12-31 至 2010-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/63239806?language=en
• 关键词: Untersuchungen; leitf; higen; Polymerkompositen; zur

Ziel des beantragten Projekts ist die Untersuchung von Polymeren als Widerstände für Infrarot-(Mikro-)Bolometer-Arrays, wie sie z.B. in Wärmebildgeräten Anwendung finden. Die spezielle Nutzung für Bolometer erfordert, dass geeignete sensitive Schichten einen großen Temperaturkoeffizienten des Widerstandes aufweisen und dass sie wegen der geforderten thermischen Isolation als freitragende dünne Schichten herstellbar sind: Perkolative polymere Netzwerke vereinen dabei die Vorteile einer einstellbaren, hinreichend kleinen Leitfähigkeit (durch das Polymer) und eines großen Temperaturkoeffizienten des Widerstandes (durch den Füllstoff, z.B. aus Halbleitermaterial). In dieser Weise besitzen sie ein großes Potenzial, traditionelle Materialien in der Halbleitertechnologie (amorphes Silizium, Vanadiumoxid) abzulösen, um preiswerte Mikrobolometer-Arrays mit allerdings geringeren Genauigkeitsanforderungen zu schaffen. Es sollen verschiedene perkolative polymere Netzwerke hergestellt werden, welche hinsichtlich der vorhandenen Leitungsmechanismen und der daraus resultierenden Eignung in Mikrobolometer-Arrays charakterisiert werden sollen. Hierfür soll vor allem der Halbleiter Tellur als leitfähiger Füllstoff verwendet werden, der sowohl elektrisch günstige Eigenschaften hat, als auch einfach durch chemische Reduktion in verschiedenen Formen synthetisiert werden kann. Die Herstellung freitragender leitfähiger Schichten soll mittels Opferschicht- oder Stempeltechnologien realisiert werden. Hierbei sollen insbesondere Verfahren angewendet werden, die hochparallele und kostengünstige Herstellungstechniken ermöglichen. Der Aufbau von Mikrobolometerteststrukturen mit der Bestimmung sämtlicher relevanter Sensorparameter stellt den Abschluss der geplanten Forschungsarbeiten dar.

Ziel des beantragten Projekts ist die Untersuchung von Polymeren als Widerstände für Infrarot-(Mikro-)Bolometer-Arrays，即 z.B.在 Wärmebildgeräten Anwendung finden 中。辐射热测量仪的特殊监测、非常敏感的温度范围和温度范围以及热隔离和 freitragende dünne Schichten Herstellbar sind：渗透聚合物网络连接大悲模 Vorteile einer einstellbaren, hinreichend kleinen Leitfähigkeit (durch das das Polymer) and eines großen Temperaturkoeffizienten des Widerstandes (durch den Füllstoff, z.B. aus Halbleitermaterial)。在这些潜在的潜力中，传统材料在 der Halbleitertechnologie（无定形硅、氧化钒）中的应用，是微测辐射热计阵列的重要组成部分。索伦的渗透聚合物网络是一种新型的渗透聚合物网络，它是一种微测辐射热计阵列特征中的机械装置和结果。 Hierfür soll vor allem der Halbleiter Tellur als leitfähiger Füllstoff verwendet werden, der sowohl elektrisch günstige Eigenschaften hat, als auch einfach durch chemische Reduktion in verschiedenen Formen Synthetisiert werden kann. Die Herstellung freitragender leitfähiger Schichten soll mittels Opferschicht- oder Stempeltechnologien realisiert werden。 Hierbei sollen insbesondere Verfahren angewendet werden, die hochparallele und kostengünstige Herstellungstechniken ermöglichen。微型测辐射热计测试结构与相关最佳测量传感器参数的建立有关。