Microelectromechanical systems: automatic generation of compact models for efficikent calculation of electromagnetic compatibility

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Das Verhalten von Mikrosystemen MEMS bezüglich elektromagnetischer Kompatibilität (EMC) ist ein aktuelles Teilgebiet der Zuverlässigkeit solcher Systeme. Da Mikrosysteme oft dem Einfluß ihrer Umgebung ausgesetzt sind, ist die elektromagnetische Wechselwirkung störend und daher die optimale Systemauslegung und Abschirmung eine wichtige Designaufgabe. In unseren Vorarbeiten ist es uns gelungen, eine breite Palette physikalischer Effekte mit maßgeschneiderten numerischen Simulationsprogrammen zu erfassen, so daß Mikrosystementwickler in der Lage sind, routinemäßig neue Entwürfe auf ihre Funktionalität zu prüfen. In diesem Projekt sollte die elektromagnetische Beeinflussung (EMB) von Mikrosystemen rechnerisch mittels effizienter kompakter Modelle behandelt werden und deren Generierung sollte auf automatischem Wege erfolgen.