変調RFプラズマCVD法によるアモルファス炭化シリコン薄膜の作製

调制射频等离子体CVD法制备非晶碳化硅薄膜

• 批准号: 08750361
• 负责人: 田畑 彰守
• 金额: $ 0.58万
• 依托单位: Nagoya University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
• 财政年份: 1996
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1996 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-08750361/
• 关键词: アモルファス炭化シリコン; プラズマCVD; 変調高周波放電; 光伝導度; アモルファム

デューティ比50%変調周波数50Hz、500Hzおよび5kHz、変調周波数5kHzデューティ比25%、50%および75%の条件下で膜作製を行い、変調放電の膜特性に及ぼす効果を調べた。他の膜作製条件は、シラン、メタンおよびヘリウムガス流量はそれぞれ2.5SCCM、2.5SCCMおよび45SCCM、ガス圧は300mTorr、rfパワーは40W、基板温度は250℃である。以下に研究結果を示す。1.デューティ比50%において変調放電を行うと堆積速度および光学バンドギャップは、連続放電に比べて低下した。しかし、変調周波数には依存しなかった。一方、変調周波数5kHzにおいてデューティ比が増加すると堆積速度および光学バンドギャップは増加した。ただし、デューティ比75%における堆積速度光学バンドギャップは連続放電のものと同じになった。2.シリコン原子と結合している膜中水素量は変調放電を行っても変化がなかった。一方、炭素原子と結合している膜中水素量は変調放電を行うことにより低下した。また、膜素原子と結合している膜中水素量は変調周波数に依存せず、またデューティ比が小さくなるに伴い低下した。3.光伝導度は、変調放電を行うことにより改善された。デューティ比50%において変調周波数50および500Hzによる膜の光伝導度はほぼ同じ値を示したが、5kHzの膜の光伝導度は低下した。また、デューティ比が小さいほど光伝導度が大きい。この結果を1サイクル当たりのオフ時間で見ると、光伝導度はオフ時間が短くなるに伴い、0.15ms以上のオフ時間では僅かに増加しているが、0.15ms以下のオフ時間では急激に減少した。このことから、光伝導度が高い膜を作製するためには、サブmsのオフ時間が最適であることが分かった。

デ ュ ー テ ィ than 50% - adjustable frequency 50 hz and 500 hz お よ び 5 KHZ, - cycle for 5 KHZ デ ュ ー テ ィ than 25%, 50% お よ び 75% の で film as the system under the condition of line を い, - discharge characteristic に の membrane and ぼ す unseen fruit を adjustable べ た. He は の film as system conditions, シ ラ ン, メ タ ン お よ び ヘ リ ウ ム ガ ス flow は そ れ ぞ れ 2.5 SCCM, 2.5 SCCM お よ び 45 SCCM, ガ ス 圧 は 300 mtorr and rf パ ワ ー は 40 w, substrate temperature 250 ℃ は で あ る. The following に research results を show す. 1. デ ュ ー テ ィ than 50% に お い て - adjustable discharge line を う と stacking velocity お よ び optical バ ン ド ギ ャ ッ プ は, even 続 discharge に than べ て low し た. し か し, - cycle for に は dependent し な か っ た. Side, - cycle for 5 KHZ に お い て デ ュ ー テ ィ than が raised plus す る と stacking velocity お よ び optical バ ン ド ギ ャ ッ プ は raised plus し た. た だ し, デ ュ ー テ ィ than 75% に お け る accumulation speed optical バ ン ド ギ ャ ッ プ は even 続 discharge の も の と with じ に な っ た. 2. Youdaoplaceholder0 と atoms と combine with <s:1> て and る in the る membrane, and the amount of water in the membrane changes in, discharges を, undergoes って, <s:1>, and undergoes がな and った changes. On one side, the carbon atoms と combine with the <s:1> て る る る membrane, the amount of hydrogen in the る membrane changes, the discharge is を, the う う とによ とによ た is low, and the た is low. ま た, membrane element atoms と combining し て い る amount of water in the membrane element は - adjustable cycle for に dependent せ ず, ま た デ ュ ー テ ィ smaller than が さ く な る に with low い し た. 3. The light 伝 conductivity and the modulation discharge を are improved in terms of う <s:1> とによ <e:1> <e:1> された. デ ュ ー テ ィ than 50% に お い て - adjustable cycle for 50 お よ び 500 hz に よ の light 伝 る membrane conductance は ほ ぼ with じ numerical を shown し た が, 5 KHZ の membrane の light 伝 low conductance は し た. Youdaoplaceholder0, デュ, ティ, ティ are smaller than が, さ, ほ, <s:1>, and <s:1>. The optical conductivity of 伝 is が greater than that of ティ. こ の results を 1 サ イ ク ル when た り の オ フ time で see る と, light 伝 conductance は オ フ が short く な る に い, more than 0.15 ms の オ フ time で は only か に raised plus し て い る が の below 0.15 ms オ フ time で は nasty shock に reduce し た. こ の こ と か ら, high light 伝 conductance が い membrane を cropping す る た め に は, サ ブ ms の オ が フ time optimal で あ る こ と が points か っ た.