课题基金 / 基金详情

位相共役波を用いた三次元フォトリソグラフィに関する研究

位相共役波を用いた三次元フォトリソグラフィに関する研究
相位共轭波三维光刻技术研究
批准号：
09875037
负责人：
高橋 哲
金额：
$1.34万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Exploratory Research
财政年份：
1997
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1997 至 1998
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-09875037/
关键词：
非積層立体形状創成実時間ホログラフィ光造形位相共役波時間反転波BaTiO_3(チタン酸バリウム)光硬化性樹脂PDLC(高分子分散型液晶パネル)自己励起型配置

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
本研究は,従来のフォトリッグラフィ技術と位相共役波を用いた実時間ホログラフィ技術を複合することにより,三次元微細構造を平面の積層を伴わずに一括して創成する手法の確立を目的とした基礎研究である.本年度は,一括創成データを実時間ホログラムへ書き込む手法として,液晶一括変調方式を提案し,高分子分散型液晶パネル(PDLC)を採用した樹脂硬化基本特性実験を行なった結果,下記のような研究成果が得られた.なお,液晶プ括変調方式はラスタースキャン法と比較して,高速性・PC制御性等の点で優れているという特徴を有している.1. 液晶画像め実時間書き込み・読み出し実験ここでは,液晶として,光透過性に優れ,高強度での画像伝搬が可能な高分子分散型液晶パネル(PDLC)を採用し,自己励起型配置で構成された実時間ホログラム(チタン酸バリウム;BT)への液晶画像書き込み,位相共役像読み出し実験を試みた.その結果,上記構成を採用することで,PCから入力された液晶画像のBT内への書き込み,および,位相共役光波としての読み出しが可能であることが分かった.2. 液晶の強度変調による硬化深さ制御実験ここでは,非積層立体形状創成の基礎実験として,液晶の強度変調と樹脂硬化深さの関係について,実験的検討を行った.その結果;樹脂硬化深さは照射エネルギの対数に比例し,液晶の階調を変化させることで,任意に硬化深さを制御可能なことが分かった.以上の実験的知見から,所望の立体形状に応じた階調を液晶に入力し,その強度変調光波を精度良く伝搬する位相共役波として,樹脂に照射することで,ビームスポット内において,微細な三次元構造を一括して創成できる可能性を示唆した.
英文摘要
本研究は,従来のフォトリッグラフィ技術と位相共役波を用いた実時間ホログラフィ技術を複合することにより,三次元微細構造を平面の積層を伴わずに一括して創成する手法の確立を目的とした基礎研究である.本年度は,一括創成データを実時間ホログラムへ書き込む手法として,液晶一括変調方式を提案し,高分子分散型液晶パネル(PDLC)を採用した樹脂硬化基本特性実験を行なった結果,下記のような研究成果が得られた.なお,液晶プ括変調方式はラスタースキャン法と比較して,高速性・PC制御性等の点で優れているという特徴を有している.1. 液晶画像め実時間書き込み・読み出し実験ここでは,液晶として,光透過性に優れ,高強度での画像伝搬が可能な高分子分散型液晶パネル(PDLC)を採用し,自己励起型配置で構成された実時間ホログラム(チタン酸バリウム;BT)への液晶画像書き込み,位相共役像読み出し実験を試みた.その結果,上記構成を採用することで,PCから入力された液晶画像のBT内への書き込み,および,位相共役光波としての読み出しが可能であることが分かった.2. 液晶の強度変調による硬化深さ制御実験ここでは,非積層立体形状創成の基礎実験として,液晶の強度変調と樹脂硬化深さの関係について,実験的検討を行った.その結果;樹脂硬化深さは照射エネルギの対数に比例し,液晶の階調を変化させることで,任意に硬化深さを制御可能なことが分かった.以上の実験的知見から,所望の立体形状に応じた階調を液晶に入力し,その強度変調光波を精度良く伝搬する位相共役波として,樹脂に照射することで,ビームスポット内において,微細な三次元構造を一括して創成できる可能性を示唆した.
期刊论文(5)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
林照剛, 三好隆志, 高谷裕浩, 高橋哲: "位相共役素子を用いたホログラフィ光造形法に関する研究" 1997年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 神戸. 205-205 (1997)
Terutake Hayashi、Takashi Miyoshi、Hirohiro Takatani、Satoshi Takahashi：“使用相位共轭元件的全息立体光刻研究”1997 年日本精密工程学会神户秋季会议论文集 205-205（1997 年）。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
林 照剛, 三好隆志, 高谷裕浩, 高橋 哲: "位相共役光を用いた光造形法に関する基礎的研究 -液晶画像の利用-" 1998年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 北海道. 61 (1998)
Terutake Hayashi、Takashi Miyoshi、Hirohiro Takatani、Satoshi Takahashi：“使用相位共轭光的立体光刻的基础研究 - 液晶图像的使用 -” 1998 年日本精密工程学会秋季会议学术会议记录 .61 (1998)。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
林 照剛, 三好隆志, 高谷裕浩, 高橋 哲: "位相共役素子を用いたホログラフィ光造形法に関する研究(第2報) -像形成の基本原理-" 1998年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 東京. 409 (1998)
Terutake Hayashi、Takashi Miyoshi、Hirohiro Takatani、Satoshi Takahashi：“使用相位共轭元件的全息立体光刻研究（第二次报告）-图像形成的基本原理-”1998年精密工程学会春季会议学术讲座论文集东京。 (1998)
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
林 照剛, 三好隆志, 高谷裕浩, 高橋 哲: "位相共役光による三次元造形に関する研究(第1報) -液晶濃淡画像の硬化特性-" 1999年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 東京. (1999)
Terutake Hayashi、Takashi Miyoshi、Hirohiro Takatani、Satoshi Takahashi：《利用相位共轭光进行三维建模的研究（第一次报告）-液晶灰度图像的硬化特性-》1999年日本精密工程学会春季会议学术演讲论文集。东京（1999）
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
教員の「職務の特殊性」を反映した勤務時間管理の制度モデルに関する国際比較研究
  • 批准号：
    23K25620
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $6.32万
  • 财政年份：
    2024
  • 负责人：
    高橋 哲
  • 依托单位：
    Osaka University
次世代機能デバイス実現のための高品位・超高アスペクト比微細穴加工システムの開発
  • 批准号：
    23K22643
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $1.41万
  • 财政年份：
    2024
  • 负责人：
    高橋 哲
  • 依托单位：
    The University of Tokyo
A Comparative Research on Teacher Working Hour Models Based on the Professional Autonomy
  • 批准号：
    23H00923
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $10.82万
  • 财政年份：
    2023
  • 负责人：
    高橋 哲
  • 依托单位：
    Osaka University
Development of the "Litigation Practice Model" for Education Policy Making through the Courts in the U.S. and Japan
  • 批准号：
    22KK0215
  • 项目类别：
    Fund for the Promotion of Joint International Research (Fostering Joint International Research (A))
  • 资助金额：
    $9.9万
  • 财政年份：
    2023
  • 负责人：
    高橋 哲
  • 依托单位：
    Osaka University (2023)Saitama University (2022)