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位相共役波を用いた三次元フォトリソグラフィに関する研究

相位共轭波三维光刻技术研究

基本信息

批准号：
09875037
负责人：
高橋哲
金额：
$ 1.34万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Exploratory Research
财政年份：
1997
资助国家：
日本
起止时间：
1997 至 1998
项目状态：
已结题

项目摘要

本研究は,従来のフォトリッグラフィ技術と位相共役波を用いた実時間ホログラフィ技術を複合することにより,三次元微細構造を平面の積層を伴わずに一括して創成する手法の確立を目的とした基礎研究である.本年度は,一括創成データを実時間ホログラムへ書き込む手法として,液晶一括変調方式を提案し,高分子分散型液晶パネル(PDLC)を採用した樹脂硬化基本特性実験を行なった結果,下記のような研究成果が得られた.なお,液晶プ括変調方式はラスタースキャン法と比較して,高速性・PC制御性等の点で優れているという特徴を有している.1. 液晶画像め実時間書き込み・読み出し実験ここでは,液晶として,光透過性に優れ,高強度での画像伝搬が可能な高分子分散型液晶パネル(PDLC)を採用し,自己励起型配置で構成された実時間ホログラム(チタン酸バリウム;BT)への液晶画像書き込み,位相共役像読み出し実験を試みた.その結果,上記構成を採用することで,PCから入力された液晶画像のBT内への書き込み,および,位相共役光波としての読み出しが可能であることが分かった.2. 液晶の強度変調による硬化深さ制御実験ここでは,非積層立体形状創成の基礎実験として,液晶の強度変調と樹脂硬化深さの関係について,実験的検討を行った.その結果;樹脂硬化深さは照射エネルギの対数に比例し,液晶の階調を変化させることで,任意に硬化深さを制御可能なことが分かった.以上の実験的知見から,所望の立体形状に応じた階調を液晶に入力し,その強度変調光波を精度良く伝搬する位相共役波として,樹脂に照射することで,ビームスポット内において,微細な三次元構造を一括して創成できる可能性を示唆した.

This study aims to establish the basic research methods of three-dimensional fine structure, planar lay-up and phase co-operation wave application. This year, a series of research results have been obtained, including the development of a new method of liquid crystal modulation, the adoption of polymer dispersed liquid crystal (PDLC) and the basic characteristics of resin curing. The liquid crystal modulation mode is different from the method of comparison, and the characteristics of high speed, PC control, etc. are excellent. Liquid crystal imaging technology has excellent light transmittance, high intensity imaging technology and polymer dispersed liquid crystal (PDLC) technology. The self-excitation configuration is used to make liquid crystal imaging technology. As a result, the above composition is adopted, and the PC enters the BT inner space of the liquid crystal image, and the phase common light wave enters the BT inner space of the liquid crystal image. The relationship between the strength of liquid crystal and the hardening depth of resin is discussed. As a result, the resin hardening depth is different from the irradiation depth, and the liquid crystal gradation is different from the irradiation depth. The above findings demonstrate the possibility of creating a three-dimensional structure with high accuracy, such as phase modulation, liquid crystal penetration, intensity modulation, and resin irradiation.