课题基金 / 基金详情

1nm表面異物欠陥の自律探索を実現する動的位相差検出型・近接場液相プローブ計測法

1nm表面異物欠陥の自律探索を実現する動的位相差検出型・近接場液相プローブ計測法
实现1nm表面异物缺陷自主搜索的动态相位差检测式近场液相探针测量方法
批准号：
21K18668
负责人：
高橋 哲
金额：
$4.08万
依托单位：
The University of Tokyo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
财政年份：
2021
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2021-07-09 至 2024-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21K18668/
关键词：
異物検出ナノ欠陥ナノ異物シリコンウエハ表面欠陥表面検査

项目摘要

项目成果

高橋 哲的其他基金

相似基金

相关文献

中文摘要
翻译
点击翻译按钮获取中文摘要
英文摘要
従来半導体プロセスにおいて現場適用されていた光学的散乱型計測法原理では物理的検出限界となっていた超平滑加工表面のナノ付着異物計測法について新光学システムの提案，開発を目指す．具体的には，基板上に滴下した揮発性不活性溶媒の液相界面とナノ異物との近接場における力学的・光学的相互作用を，並列情報処理性，現場適用性の高い遠隔場光学技術で取得することで，非破壊性，高速性を維持したまま，従来異物サイズ検出限界を打破可能な新概念近接場計測プローブ法の開発において，動的位相差検出が可能な新しい概念の光学システムの適用を提案し，1nm表面異物欠陥計測実現への可能性を，理論・実験の両面から検討する．本年度は，前年度に開発した動的位相差顕微基礎実験装置を用いて，ナノ欠陥時に生じる薄膜変動を高感度で検出可能であるか実験的試行を行った．
期刊论文(0)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
Challenge of nano optical technology beyond the diffraction limit for nano/micro manufacturing
纳米光学技术超越纳米/微米制造衍射极限的挑战
DOI： --
发表时间： 2021
期刊：
影响因子： --
作者： [Yizho Guan, Shotaro Kadoya, Masaki Michihata, Satoru Takahashi, S. Takahashi]
通讯作者： S. Takahashi
Smart optical measurement probe for autonomously detecting nano-defects on bare semiconductor wafer surface: highly sensitive observation system using phase-contrast microscopy with a spatial light modulator
用于自动检测裸露半导体晶圆表面纳米缺陷的智能光学测量探头：使用带有空间光调制器的相差显微镜的高灵敏度观察系统
DOI： 10.1088/1742-6596/2368/1/012014
发表时间： 2022
期刊： J. Phys. Conf. Ser. 2368
影响因子： --
作者： [Y. Guan, S. Masui, S. Kadoya, M. Michihata and S. Takahashi]
通讯作者： M. Michihata and S. Takahashi
教員の「職務の特殊性」を反映した勤務時間管理の制度モデルに関する国際比較研究
  • 批准号：
    23K25620
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $6.32万
  • 财政年份：
    2024
  • 负责人：
    高橋 哲
  • 依托单位：
    Osaka University
次世代機能デバイス実現のための高品位・超高アスペクト比微細穴加工システムの開発
  • 批准号：
    23K22643
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $1.41万
  • 财政年份：
    2024
  • 负责人：
    高橋 哲
  • 依托单位：
    The University of Tokyo
A Comparative Research on Teacher Working Hour Models Based on the Professional Autonomy
  • 批准号：
    23H00923
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $10.82万
  • 财政年份：
    2023
  • 负责人：
    高橋 哲
  • 依托单位：
    Osaka University
Development of the "Litigation Practice Model" for Education Policy Making through the Courts in the U.S. and Japan
  • 批准号：
    22KK0215
  • 项目类别：
    Fund for the Promotion of Joint International Research (Fostering Joint International Research (A))
  • 资助金额：
    $9.9万
  • 财政年份：
    2023
  • 负责人：
    高橋 哲
  • 依托单位：
    Osaka University (2023)Saitama University (2022)
海外基金