Manufacturing of wear-resistent hard material multi layers and optimization of their mechanical properties by investigation of nanostructure

多层耐磨硬质材料的制造及其通过纳米结构研究优化其机械性能

• 批准号: 5188170
• 负责人: Dr. Hans-Dietrich Bauer (†)
• 金额: --
• 依托单位: Leibniz-Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden (IFW) e.V.
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 1999
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1998-12-31 至 2002-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5188170?language=en
• 关键词: Manufacturing; wear; resistent; hard; material

Die Antragsteller beabsichtigen, Zusammenhänge zwischen den Herstellungsbedingungen und dem nanoskaligen Aufbau von Multilagen, mit Auswirkung auf deren mechanisches Verhalten, aufzuklären. Dazu werden durch plasmaunterstützte chemische Gasphasenabscheidung (PACVD) TiN-Al2O3-Viellagenschichten hergestellt und strukturell vorrangig mit analytischer Transmissionselektronenmikroskopie (AnTEM) untersucht. Ziel ist es, reproduzierbare Abscheidungsbedingungen zu ermitteln, die gleichmäßige Multischichten mit Korngrößen von einigen Nanometern, geringer Textur und geringer Mikrorißdichte hervorbringen, wodurch eine Verfestigung des Gefüges eintritt und sehr harte, gut haftende Schichten entstehen. Der Einfluß des Substrates auf die Schichthaftung wird einbezogen.Die AnTEM-Untersuchungen sollen Informationen über die Nanostruktur der Systeme erbringen, insbesondere der Gebiete mit Ausdehnungen von wenigen Nanometern an den Grenzflächen zwischen den Materialphasen und zum Substrat. Die Elektronen-Energieverlustspektroskopie (EELS) wird im Rastermodus schwerpunktmäßig eingesetzt, dazu wird die Methode des EELS-Imaging methodisch ausgebaut. Es werden sowohl element- als auch bindungsspezifische Signale zur Charakterisierung der Probe benutzt. Ziele sind hier das Erreichen hoher lateraler analytischer Auflösungen bei der Untersuchung geeigneter Charakteristika des Energieverlusts, wie der Kantenfeinstruktur und des Spektrums im Anregungsbereich der Valenzelektronen, sowie die Entwicklung von Methoden zur effektiven Erfassung und Auswertung der anfallenden großen Datenmengen. Zur Beurteilung der mechanischen Eigenschaften werden Mikrohärtemessungen, Ritztests und Rauhigkeitsmessungen durchgeführt. In-situ-Biegebelastungen im Rasterelektronenmikroskop werden zur Untersuchung der Schichthaftung ausgewählter Schichten herangezogen. Aussagen zu Eigenspannungen sollen röntgenographisch erhalten werden. Weiterhin sollen mit GDOES-Messungen Elementtiefenprofile am Substrat bestimmt werden.

晶体力学，Zusammenhänge纳米细胞动力学与纳米细胞动力学，纳米细胞动力学与细胞动力学，aufzuklären。大足等离子体研究，化学，气相分析（PACVD）， TiN-Al2O3-Viellagenschichten hergestellt，结构，光谱分析，透射电子显微镜（tem）等。Ziel ist es, ereduzierbare Abscheidungsbedingungen zu ermitteln, die gleichmäßige Multischichten mit Korngrößen von einigen Nanometern, geringer texturr und gergermicrori, dichte hervorbringen, woduchine verfestiung des gefges eintritt und sehr harte, gut haftende Schichten entsteen。Der Einfluß des Substrates auf die Schichthaftung wind bebeogen。Die antem - untersuhnungen soleninformationen e Die nanostructur der Systeme erbringen, insbesonere der Gebiete mit Ausdehnungen von wenigen nanoteren and den Grenzflächen zwischen den Materialphasen and zum substrate。电子-能量荧光光谱（EELS）成像方法（EELS - imaging method）。这是一个完整的元素，同时也是一个特殊的元素。Ziele shier das Erreichen, her her lateraler analytischer Auflösungen betetersuchung geitger Charakteristika des Energieverlusts, betetersuke instrumktur and des spectrum in anregungschereich der Valenzelektronen, betetersuke Entwicklung von Methoden zerfassung and Auswertung der andfallenden groenmengen。[3][1]力学特征分析与动力学特性分析Mikrohärtemessungen， Ritztests and Rauhigkeitsmessungen durchgef<s:1> hrt]。电子学与电子学研究进展ausgewählter电子学与电子学研究进展德国汽车工业集团有限公司：德国汽车工业集团有限公司röntgenographisch。本文用GDOES-Messungen元素谱和基材谱进行了分析。