Maßgeschneiderte Metallorganika zur Abscheidung von Elementen und von Elementkombinationen

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Im zurückliegenden Bearbeitungszeitraum hat sich der Einsatz von Cyclopentadienylverbindungen als Precursor für CVD-Prozesse bereits sehr gut bewährt; diese Strategie soll auch in zukünftigen Arbeiten verfolgt werden. Neben der Optimierung von Synthese- und Abscheidebedingungen ist die Darstellung und Charakterisierung neuer Precursor vorgesehen: Studien an 13/15-Systemen und an Germaniumverbindungen stehen im Vordergrund der experimentellen Arbeiten. Die Bearbeitung kooperationsbedingter Fragestellung beinhaltet die Synthese von Precursor zur Abscheidung von Cobalt und Iridium sowie von Aluminiumoxid, Titanoxid und Borcarbid.