Maßgeschneiderte Metallorganika zur Abscheidung von Elementen und von Elementkombinationen

用于沉积元素和元素组合的定制金属有机物

• 批准号: 5200662
• 负责人: Professor Dr. Peter Jutzi
• 金额: --
• 依托单位: Arbeitsgruppe Anorganische Chemie und Strukturchemie
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Units
• 财政年份: 1997
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 1996-12-31 至 2001-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5200662?language=en
• 关键词: Ma; geschneiderte; Metallorganika; zur; Abscheidung

Im zurückliegenden Bearbeitungszeitraum hat sich der Einsatz von Cyclopentadienylverbindungen als Precursor für CVD-Prozesse bereits sehr gut bewährt; diese Strategie soll auch in zukünftigen Arbeiten verfolgt werden. Neben der Optimierung von Synthese- und Abscheidebedingungen ist die Darstellung und Charakterisierung neuer Precursor vorgesehen: Studien an 13/15-Systemen und an Germaniumverbindungen stehen im Vordergrund der experimentellen Arbeiten. Die Bearbeitung kooperationsbedingter Fragestellung beinhaltet die Synthese von Precursor zur Abscheidung von Cobalt und Iridium sowie von Aluminiumoxid, Titanoxid und Borcarbid.

In zurückliegenden Bearbeitungszeitraum hat sich sich der Einesterion von Cyclobenzenylverbindungen als Precursor für CVD-Prozesse bereits sehr gut behrt; diese approach soll auch in zukünftigen Arbeiten verfolgt韦尔登.合成与分离的最佳方法是一种新的前驱体的合成与分离方法：在实验室的前期工作中，采用13/15体系和锗系。通过对钴、铱等金属氧化物、钛氧化物和硼碳化物前驱体的合成，实现了钴、铱等金属元素的碎片化。