Nachweis durch hochauflösende Spektroskopie reaktiver, kurzlebiger, siliciumhaltiger Zwischenstufen in der Gasphase mit Relevanz für Abscheidungsprozesse fester Materialien

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Kurzlebige Zwischenstufen mit Silicium-Chalkogen-Mehrfachbindungen sind wichtig für anwendungsorientierte Technologien, z. B. die Herstellung von SiO-Filmen durch CVD oder das Ätzen von SiO2-Schichten, sowie für die Grundlagenforschung. Im Vorhaben sollen kurzlebige Moleküle mit Si=O- und Si=S-Doppelbindungen erzeugt werden, nachdem nachgewiesen wurde, daß sich H2SiO und F2SiS durch Pyrolyse der Disilyl-Derivate (H3Si)2O bzw. (F3Si)2S erzeugen lassen. Die in freier Form bisher unbekannten Moleküle F2SiS, F2SiO und H2SiS sollen in der Gasphase mit Hilfe der MMW- und IR-Spektroskopie untersucht werden. Diese kurzlebigen Spezies sollen zum Aufbau höhermolekularer Systeme mit SiOSi- und SiSSi-Bindungen genutzt werden, wobei die Gasphasen-Co-Thermolyse der Disilylchalkogenide mit geeigneten Abfangreagentien sowie in kondensierter Phase mit Donoren durchgeführt werden soll.