课题基金 / 基金详情

混晶半導体の格子欠陥の研究

混晶半導体の格子欠陥の研究
混晶半导体晶格缺陷的研究
批准号：
60222010
负责人：
堂山 昌男
金额：
$1.34万
依托单位：
The University of Tokyo
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Special Project Research
财政年份：
1985
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1985 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-60222010/
关键词：
γ線位置検出器陽電子消滅角度相関法混晶半導体格子欠陥シリコン半導体GaAs化合物半導体

项目摘要

项目成果

堂山 昌男的其他基金

相关文献

中文摘要
翻译
点击翻译按钮获取中文摘要
英文摘要
NaIシンチレータと19本の光電子増倍管を使用した医学用γ線位置検出器を改良し、陽電子消滅角度相関法による混晶半導体の格子欠陥の研究用装置を製作した。医学用γ線位置検出器は、入射γ線の位置とエネルギーのスペクトルを電気信号出力として取り出し得る。そこで、アナログ・デジタル・コンバータを使用し、データ計測用にマイクロコンピュータを使用した。このマイクロコンピュータからは、CAMACデータウェイを通して、データ処理用ミニコンピュータで計測結果を蓄える形式とした。測定試料部は、クライオミニを使用した低温クライオスタットを製作し、約15Kから室温までの冷却試験を行なった。 テスト用に使用した試料はチョコラスキー法によって引き上げたシリコン単結晶を使用した。この試料に、引き上げによる温度分布及び引き上げ速度の変化により、欠陥領域と通常領域を作成し使用した。この二種類の試料に対しては、77Kでは陽電子消滅エネルギー測定法により欠陥に陽電子が捕捉されていることが示唆されているが、室温では違いがみられなかった試料である。これに対して、室温でこの二次元角度相関法による測定を行なったところ、欠陥領域では欠陥に捕捉された陽電子による電子密度分布が狭くなり通常領域と明らかな違いが測定された。これは室温においても半導体に対して陽電子が欠陥に対するプローブとして有効であることを示している。このシリコン半導体単結晶に比較して、GaAs化合物半導体の測定を行なった。GaAsでは、現在の技術によって作成された試料では、すでに多くの欠陥因子があることが初期的な結果として得られた。 以上の結果は半導体製造における多くの欠陥を示し注目されている。
期刊论文(2)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
日本物理学会1986年年会. (1986)
日本物理学会 1986 年年会 (1986)。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
特定研究「混晶半導体」研究発表. (1986)
具体研究“混合晶体半导体”研究报告（1986）。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
傾斜機能材料のコンピュータ・シミュレーション
  • 批准号：
    09229247
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额：
    $0.64万
  • 财政年份：
    1997
  • 负责人：
    堂山 昌男
  • 依托单位：
    Teikyo University of Science & Technology
傾斜機能材料のコンピュータ・シミュレーション
  • 批准号：
    08243245
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额：
    $0.64万
  • 财政年份：
    1996
  • 负责人：
    堂山 昌男
  • 依托单位：
    Teikyo University of Science & Technology
再放出陽電子顕微鏡の製作とその応用
  • 批准号：
    08650775
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 资助金额：
    $1.34万
  • 财政年份：
    1996
  • 负责人：
    堂山 昌男
  • 依托单位：
    Teikyo University of Science & Technology
多孔スリットを用いた陽電子顕微鏡の製作とその応用
  • 批准号：
    07640495
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
  • 资助金额：
    $1.41万
  • 财政年份：
    1995
  • 负责人：
    堂山 昌男
  • 依托单位：
    Teikyo University of Science & Technology