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Neuartige Methoden zur röntgenographischen Spannungsermittlung an Mikrosystemen unter Einsatz von Parallelstrahldiffraktometrie und Flächendetektoren
使用平行光束衍射法和面探测器测定微系统 X 射线电压的新方法
基本信息
- 批准号：5226954
- 负责人：
- 金额：--
- 依托单位：
- 依托单位国家：德国
- 项目类别：Research Grants
- 财政年份：1995
- 资助国家：德国
- 起止时间：1994-12-31 至 2001-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
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项目成果
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Professor Dr.-Ing. Detlef Löhe其他文献
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