Waveness Profilometer of Large Optical Parts Insensitive to the Waveness and Roughness of Reference Mirror

对参考镜的波度和粗糙度不敏感的大型光学零件的波度轮廓仪

• 批准号: 02650028
• 负责人: ADACHI Masaaki
• 金额: $ 0.96万
• 依托单位: KANAZAWA University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
• 财政年份: 1990
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1990 至 1992
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-02650028/
• 关键词: Interferometer; Profilometer; Digital signal processing; Supersmooth-surface; 光反射率; 移動テーブル; 振動; 位置制御; 移動テ-ブル; 光干渉; 形状計測; うねり形状

A profiling instrument is developed for large supersmooth surfaces, which has a height sensitivity of 0.1 nm under vibrational environments of approximately 0.4-gal root mean square. In taking a profile, a measurement point is scanned on a surface at a constant rate. An interferometric system continues to measure a differential height between the aimed point and its surroundings. The same part in a reference mirror is used during the measurement, then the roughness of the mirror does not affect the measured data. The differential height has the attenuated intensities for high spatial-frequency components. However, a digital signal processing can retrieve the original intensities of the components except one characteristic parameter, the radius of curvature of the surface. This radius can be evaluated from the data which have been measured by this instrument for another large smooth surface having a known absolute profile.

研制了一种适用于大型超光滑表面的仿形仪，在均方根约为0.4 gal的振动环境下，其高度灵敏度为0.1 nm。在获取轮廓时，以恒定速率在表面上扫描测量点。干涉测量系统继续测量目标点与其周围环境之间的高度差。在测量过程中使用参考镜中的相同部分，则镜子的粗糙度不会影响测量数据。差分高度具有高空间频率分量的衰减强度。然而，数字信号处理可以恢复原始强度的组件，除了一个特征参数，曲率半径的表面。该半径可以从该仪器对具有已知绝对轮廓的另一个大的光滑表面测量的数据来评估。

项目成果

安達 正明・他: "オプティカルスキッド法における反射率の変動が与える測定誤差の補正法" 精密工学会誌. 56. 757-760 (1990)

Masaaki Adachi 等：“光学滑动法中反射率波动引起的测量误差的校正方法”日本精密工程学会杂志 56. 757-760 (1990)。

安達 正明・他: "遂次3点法の連続形状計測への拡張" 計測自動制御学会論文集. 26. 989-994 (1990)

Masaaki Adachi 等人：“连续三点法对连续形状测量的扩展”仪器与控制工程师协会会议记录 26. 989-994 (1990)。

安達 正明・他: "上下振動の影響を受けない高精度粗さ測定法-オプティカル・スキッド法の提案-" 精密工学会誌. 56. 140-145 (1990)

Masaaki Adachi 等：“不受垂直振动影响的高精度粗糙度测量方法 - 光学滑移法的提案 -” 日本精密工程学会杂志 56. 140-145 (1990)。

M.ADACHI,: "Supersmooth-Surface Profilometer using Optical Skid, Int." J. Japan Soc. Prec. Eng.Vol.26, No.3. 213-218 (1992)

M.ADACHI，：“使用光学滑轨的超光滑表面轮廓仪，Int。”

安達 正明: "光スキッド法による超精密面の形状評価" 光学技術コンタクト. 28. 14-23 (1990)

Masaaki Adachi：“使用光学滑动方法评估超精密表面的形状”光学技术接触。28. 14-23 (1990)。