课题基金 / 基金详情

3D-shape measurement method of a small object vibrating vertically

3D-shape measurement method of a small object vibrating vertically
小物体垂直振动的三维形状测量方法
批准号：
18560247
负责人：
ADACHI Masaaki
金额：
$2.53万
依托单位：
Kanazawa University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2006
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2006 至 2008
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-18560247/
关键词：
白色干渉高精度計測光路差リアルタイム計測段差FPGA振動3次元形状レーザ光路差測定リアルタイム測定干渉顕微鏡モジュレーション3次元形状測定粗面半導体レーザ微細構造物半導体レーザー

项目摘要

项目成果

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翻译
垂直走査型の白色干渉形状測定法では装置と測定対象を一定間隔に保ち, 測定ヘッドを数十nmステップで近づけながら, 毎回干渉像を記録する必要があり, 振動環境下では使用不可能だった. 開発した手法では垂直走査型白色干渉顕微鏡内にレ-ザ光を持ち込み, 白色光と同軸で被測定面に照射し, レ-ザ干渉像を高速ラインカメラで取り込む. この干渉像をFPGAで高速処理し光路差変化をnm精度で抽出して, 撮影が必要となる光路差のタイミングで白色光をフラッシュさせることで, 振動環境下でも段差を持つ微細構造物の3次元形状を高精度に測定できるようになった.
英文摘要
垂直走査型の白色干渉形状測定法では装置と測定対象を一定間隔に保ち, 測定ヘッドを数十nmステップで近づけながら, 毎回干渉像を記録する必要があり, 振動環境下では使用不可能だった. 開発した手法では垂直走査型白色干渉顕微鏡内にレ-ザ光を持ち込み, 白色光と同軸で被測定面に照射し, レ-ザ干渉像を高速ラインカメラで取り込む. この干渉像をFPGAで高速処理し光路差変化をnm精度で抽出して, 撮影が必要となる光路差のタイミングで白色光をフラッシュさせることで, 振動環境下でも段差を持つ微細構造物の3次元形状を高精度に測定できるようになった.
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会议论文
走査型干渉顕微鏡に内蔵可能な光路差変化量のリアルタイム測定法
可内置于扫描干涉显微镜的光程差变化实时测量方法
DOI： --
发表时间： 2008
期刊： 精密工学会誌 74巻
影响因子： --
作者： [安達正明, 藤本健太, 平野勇輝]
通讯作者： 平野勇輝
Phase-shift algorithm for white-light interferometry insensitive to linear errors in phase shift
DOI： 10.1007/s10043-008-0024-x
发表时间： 2008-06
期刊： Optical Review
影响因子： 1.2
作者： [M. Adachi]
通讯作者： M. Adachi
微細段差形状の高速高精度光応用3次元形状測定法
针对精细台阶形状的高速、高精度光学 3D 形状测量方法
DOI： --
发表时间： 2009
期刊：
影响因子： --
作者： [安達正明, 河村昌範, 岩尾雄太, 安達正明]
通讯作者： 安達正明
Simul taneous measurement of nanometric longitudinal displacement and micrometric lateral displacement by using one line CCD camera
线阵CCD相机同时测量纳米级纵向位移和微米级横向位移
DOI： --
发表时间： 2006
期刊： Proceeding of SPIE(Optomechatronic Actuators, Manipulation, and Systems Control) 6374
影响因子： --
作者： [M.Adachi, Y.Nishide]
通讯作者： Y.Nishide
共 9 条
    Ultrahigh-precision 3D-shape measurement technique usable under vertical vibration
    • 批准号：
      21360115
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $12.15万
    • 财政年份：
      2009
    • 负责人：
      ADACHI Masaaki
    • 依托单位：
      Kanazawa University
    Molecular diagnosis by evaluating histone methylation
    • 批准号：
      19590566
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.91万
    • 财政年份：
      2007
    • 负责人：
      ADACHI Masaaki
    • 依托单位：
      Sapporo Medical University
    Development of a new anticancer therapy by reguration of machinery for epigenetics
    • 批准号：
      17590273
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.24万
    • 财政年份：
      2005
    • 负责人：
      ADACHI Masaaki
    • 依托单位：
      Sapporo Medical University
    Analysis of proapoptotic functions of BH3-only protein BAD
    • 批准号：
      15603004
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
    • 资助金额：
      $2.3万
    • 财政年份：
      2003
    • 负责人：
      ADACHI Masaaki
    • 依托单位：
      Sapporo Medical University
    海外基金