Aktive Nanostrukturierung selbstaggregierender Monolagen mittels elektronengestützter Verfahren zur Herstellung von Templaten für lateral definierte elektrochemische Prozesse

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Selbstaggregierende Monolagen (SAMs) amphiphiler organischer Moleküle sollen mittels Elektronen-Projektionslithographie (EPL) strukturiert werden. Bei dieser Technik wird der SAM durch eine Lochmaske mit niederenergetischen Elektronen bestrahlt und dadurch lokal modifiziert. Derzeit können mit EPL 100 nm große Strukturen über Bereiche von 50 µm x 50 µm hergestellt werden. Im Rahmen des Projektes soll die EPL-Technologie so weiterentwickelt werden, daß sie zur routinemäßigen Strukturierung verschiedener Materialien eingesetzt werden kann. Die routinemäßige Maskenherstellung geschieht mittels Elektronenstrahllithographie. Im Rahmen von Kooperationen mit Prof. G. Schmahl (Uni Göttingen) und Dr. K. Edinger (Maryland) wird eine Verkleinerung der Maskenöffnungen auf 30 nm und die Vergrößerung der strukturierten Flächen auf einige mm2 angestrebt. Kolloidmonoschichten und poröse Membranen sollen auf ihre Verwendbarkeit als EPL-Masken getestet werden. Aufgrund zunehmender Nachfrage aus dem Schwerpunkt soll das beantragte Elektronenstrahllithographie-System auch zur Herstellung von Masterstrukturen für Micro Contact Printing und zur direkten SAM-Strukturierung genutzt werden. Die mittels dieser Verfahren hergestellten SAM-Nanostrukturen werden interessierten Gruppen zur Verfügung gestellt, um darauf elektrochemische Abscheidungen durchzuführen.