Rastersondenmikroskopische Nanostrukturierung von Silizium

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Die Mikro- und Nanostrukturierung von Silizium soll mit rastersondenmikroskopischen Verfahren induziert werden. Dies soll durch die Erzeugung von Defekten im atomaren Bereich unter Einsatz von STM und AFM, auch unter Verwendung von sog. Lithographie-Programmen erleichtert werden. Die Versuche zur Defekterzeugung werden an Luft, in geeigneter Gasatmosphäre und in Elektrolyten durchgeführt. Als mögliche Defekte kommen Indentationen, Oxidinseln und mittels STM abgeschiedene Metallcluster in Betracht. ... Neben diesen Versuchen zur Erzeugung geordneter Strukturen soll auch der Einfluß von spezifisch adsorbierten Ionen auf die Strukturbildung untersucht werden. ... Die weitere Strukturbildung wird elektrochemisch durchgeführt. Hierfür ist eine systematische und gezielte Variation der Versuchsparameter ... erforderlich. Im Vordergrund steht die gezielte Herstellung geordneter Strukturen mit hohem Aspektverhältnis. Als Analyseverfahren werden in situRastersondenmikroskopie (AFM, STM), elektronenmikroskopische Verfahren und ex situ kombinierte Elektrochemie-UHV-Oberflächenanalyseverfahren eingesetzt.